天津VP0625真空泵

罗茨真空泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。往复真空泵的主要部件有气缸及在其中做往复直线运动的活塞。天津VP0625真空泵

对真空泵的工作蒸汽及其干度的研究：蒸汽压力偏低及压力波动均对真空泵的能力有较大影响，因此蒸汽压力不应低于要求的工作压力，但所用真空泵结构设计已定型，过多提高蒸汽压力并不会增加抽气量及真空度。另外，要确保锅炉供给的蒸汽压力稳定，建议用一台锅炉专门给蒸汽喷射泵提供工作蒸汽，这样蒸汽压力就不会出现波动，真空泵性能稳定。对循环冷却水要求的研究：冷却水供量不足，冷凝器会发热，气流声音变大，真空度迅速下降，甚至蒸汽会返入抽气管。天津VP0625真空泵真空泵抽速的抽气量是弥补漏气率的参数。

冷凝水在多级真空泵中具有举足轻重的作用，冷凝水可以将蒸汽充沛冷凝，真空泵排出压力中的水蒸汽分压有必要高于其所对应的饱满蒸汽压，因此冷凝水的温度也要低于该压力下的饱满温度，才能保证泵体的正常作业。对真空泵系统密封要求的研究：真空泵处于极限状态时，第1级排出的水很少，有时甚至没有。因此，第1级泵有大量水排出，可以认为是系统有泄漏。通常的漏气原因有：垫片没装、装错或损坏，螺栓未拧紧，法兰面损坏，焊缝有沙眼，接头（压力表、真空表等）未装好。

扩散真空泵抽速在很宽的压强范围内保持不变，但在压强较高或很低时，抽速下降很快。当泵入口压强很低时，气体从前级通过射流的反扩散会增加，同时工作油蒸汽的含气量和泵壁放气影响变得明显。入口压强较高时，大量气体分子进入射流与蒸汽分子碰撞，射流的定向速度衰减较大，增大了前级的反流，抽速降低；油扩散泵的极限压强与前级侧气体的反扩散、泵壁温度下泵油的饱和蒸汽压、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放气量以及泵壁的放气量等因素密切相关，当泵的出口压强小于某一出口压强p2max时，泵的入口压强不受出口压强的影响，气体的反扩散对泵的极限压强影响不大。油扩散泵的较大出口压强取决于一级喷嘴的工作状态，与蒸汽射流密度、喷嘴蒸汽流量以及一级喷嘴的结构有关。真空泵在工作第1个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。

水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。水环泵开始用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到普遍的应用。由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。真空泵的传动方式，真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。天津VP0625真空泵

卧式往复真空泵一般为有油式，立式多为无油式。天津VP0625真空泵

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