罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。罗茨真空泵分为常规罗茨泵及气冷直排大气罗茨泵,常规罗茨泵承受的压差小大约为3000~6000Pa,所以常规罗茨泵必须带前级泵预抽,不能直接排大气。气冷罗茨泵因为增加了热量平衡装置可以直接排大气,气冷罗茨真空泵的极限压力为13000Pa。真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头。爪式真空泵厂家直供
欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。据统计,目前国产干泵的应用还不足1%,国内半导体工业用的干泵全部从国外进口,其价格十分昂贵。所以,我国应大力研究开发干泵,使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。水环式真空泵经销商水环真空泵是一种粗真空泵。
真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa(压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300Pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果压强要求低于3300Pa,则不能选择水环式真空泵,选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般单位:m3/h,L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然,真空泵的选型是一个综合过程,涉及到相关经验等因素。
真空泵在工作第1个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管。对于真空泵的维护保养一定要做好,不然真空泵的使用效果会减少。水环真空泵串联大气喷射器可达270~670Pa。
真空泵的转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可降低驱动功率,从而可实现较高转速;泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;压缩比较低,对氢气抽气效果差;转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。结构,泵总体结构型式。真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。在真空泵中,相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强,表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。水环式真空泵经销商
往复真空泵中活塞的驱动是用曲柄连杆机构来完成的。爪式真空泵厂家直供
由于真空泵的重心较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低,高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。爪式真空泵厂家直供
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