手次使用AVI系统时,将前面板隔离开关设置为关闭(黑色旋钮熄灭)。打开电源。电源指示灯现在将点亮,16个显示LED将短暂闪烁。黄色启用LED将在约2Hz时闪烁。如果出现剧烈振动或把手放在桌面上,部分或全部LED将闪烁。打开电源约30秒后,您可以将隔离开关推到打开位置(黑色旋钮进入)。黄色LED现在将一直亮起,表示系统正在隔离。把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起,表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。安装好后参数不需要调整。TS-140/LP隔振台大型半导体设备防震台应用

主动式隔震台工作机理主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持蕞佳的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。(1)实际测量的振动结果:AVI主动隔振频率范围在1.0Hz到200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。(2)不同负载下的振动传递率:AVI的隔振性能在负载低于30Hz以下时是一个重要的参照。高频率范围内,随着隔振负载增加,隔震效果稍有提升。隔离振动隔振台干扰仪防震台应用从低频率起提高一个隔振环境。

TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振从0.7Hz到100Hz在21世纪纳米技术(即先进的半导体带表相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产),振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑制因素。在纳米技术中,为了获得可靠的结果,使用充气被动隔振台无法隔离低频振动,此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS系列”将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。装载设备:扫描电子显微镜,如AFM3D表面分析仪,激光显微镜,激光干涉仪,液体表面张力测量系统,显微硬度测量仪,医疗检测设备等。
传感器LFS-3有一个单独的电源,通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。用D-Sub25电缆将电源连接到传感器。每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要,但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座(诊断插座)连接到传感器设置并将电源连接到传感器后,系统即可使用。按下电源上的电源旋钮,打开电源。绿色的LED将亮起。红色的发光二极管开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在您可以通过按下启用按钮来启用系统。红色的发光二极管不应该再亮了。如果它们亮了,那意味着系统超载,建筑物内的振动太严重。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。

TS-140+40结合了久经考验的技术桌越性与优雅且用户友好的设计TS-140+40的隔离始于0.7Hz,超过10Hz后迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS140+40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好,实用的操作优势是创新建筑理念的结果TS-140+40的高度瑾84毫米TS140+40的重量瑾为28.5千克AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。隔振台供应商家
简单,用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。TS-140/LP隔振台大型半导体设备防震台应用
TS-140+40TS-140+40结合了久经考验的技术特点与优雅且用户友好的设计这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。在公制(M6x25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。TS-140+40结合了久经考验的技术卓悦性与优雅且用户友好的设计TS-140+40的隔离始于0.7Hz,超过10Hz后迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS140+40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好,实用的操作优势是创新建筑理念的结果TS-140+40的高度瑾84毫米TS140+40的重量瑾为28.5千克TS-140/LP隔振台大型半导体设备防震台应用