在EVG的NILPhotonics®解决方案支援中心,双方合作研发用于制造光学传感器的新材料,以及适用于大众化市场的晶圆级光学元件。(奥地利)与WINDACH(德国),2019年11月27日――EV集团(EVG)这一全球**的为微机电系统、纳米技术与半导体市场提供晶圆键合与光刻设备的供应商,***宣布与高科技工业粘合剂制造商DELO在晶圆级光学元件(WLO)领域开展合作。这两家公司均在光学传感器制造领域处于**地位。它们的合作将充分利用EVG的透镜注塑成型与纳米压印光刻(NIL)加工设备与DELO先进的粘合剂与抗蚀材料,在工业,汽车,消费类电子产品市场开发与应用新型光学设备,例如生物特征身份认证,面部识别。目前双方正在EVG的NILPhotonics®解决方案支援中心(位于EVG总部,奥地利Florian)以及DELO在德国Windach的总部展开合作。双方致力于改善与加快材料研发周期。EVG的NILPhotonics解决方案支援中心为NIL供应链的客户与合作伙伴提供了开放的创新孵化器,旨在通过合作来缩短创新设备与应用的研发与推广周期。该中心的基础设施包括**技术的洁净室与支持NIL制造的主要步骤的设备,例如分步重复母版,透镜模制,以及EVG的SmartNIL®技术,晶圆键合与必要的测量设备。EVG ® 7200 LA是大面积SmartNIL ® UV紫外光纳米压印光刻系统。EVG620NT纳米压印有哪些应用
EVG ® 6200 NT特征:
顶部和底部对准能力
高精度对准台
自动楔形补偿序列
电动和程序控制的曝光间隙
支持***的UV-LED技术
**小化系统占地面积和设施要求
分步流程指导
远程技术支持
多用户概念(无限数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)
敏捷处理和转换工具
台式或带防震花岗岩台的单机版
EVG ® 6200 NT附加功能:
键对准
红外对准
智能NIL ®
µ接触印刷技术数据
晶圆直径(基板尺寸)
标准光刻:75至200 mm
柔软的UV-NIL:75至200毫米
SmartNIL ®:**多至150mm
解析度:≤40 nm(分辨率取决于模板和工艺)
支持流程:软UV-NIL&SmartNIL
®
曝光源:汞光源或紫外线LED光源
对准:软NIL:≤±0.5 µm;SmartNIL ®:≤±3微米
自动分离:柔紫外线NIL:不支持;SmartNIL
®:支持
工作印章制作:柔软的UV-NIL:外部;SmartNIL ®:支持
青海纳米压印保修期多久EV Group能够提供混合和单片微透镜成型工艺。
其中包括家用电器、医药、电子、光学、生命科学、汽车和航空业。肖特在全球34个国家和地区设有生产基地和销售办事处。公司目前拥有员工超过15500名,2017/2018财年的销售额为。总部位于德国美因茨的母公司SCHOTTAG由卡尔蔡司基金会(CarlZeissFoundation)全资拥有。卡尔蔡司基金会是德国历史**悠久的私立基金会之一,同时也是德国规模比较大的科学促进基金会之一。作为一家基金公司,肖特对其员工,社会和环境负有特殊责任。关于EV集团(EVG)EV集团(EVG)是为半导体、微机电系统(MEMS)、化合物半导体、功率器件和纳米技术器件制造提供设备与工艺解决方案的**供应商。其主要产品包括:晶圆键合、薄晶圆处理、光刻/纳米压印(NIL)与计量设备,以及涂胶机、清洗机和检测系统。EV集团成立于1980年,可为遍及全球的众多客户和合作伙伴网络提供各类服务与支持。SmartNIL,NILPhotonics及EVGroup标识是EVGroup的注册商标,SCHOTTRealView™是SCHOTT的注册商标。(来自网络。
HERCULES®NIL:完全集成的纳米压印光刻解决方案,可实现300 mm的大批量生产
■批量生产低至40 nm的结构或更小尺寸(分辨率取决于过程和模板)
■结合了预处理(清洁/涂布/烘烤/冷却)和SmartNIL®技术
■全自动压印和受控的低力分离,可很大程度地重复使用工作印章
■具备工作印章制造能力
EVG®770:连续重复的纳米压印光刻技术,可进行有效的母版制作
■用于晶圆级光学器件的微透镜的高 效母模制造,直至SmartNIL®的纳米结构
■不同类型的母版的简单实现
■可变的光刻胶分配模式
■分配,压印和脱模过程中的实时图像
■用于压印和脱模的原位力控制
IQ Aligner UV-NIL是自动化紫外线纳米压印光刻系统,是用于晶圆级透镜成型和堆叠的高精度UV压印的系统。
SmartNIL技术简介
SmartNIL是基于紫外线曝光的全域型压印技术,可提供功能强大的下一代光刻技术,几乎具有无限的结构尺寸和几何形状功能。由于SmartNIL集成了多次使用的软标记处理功能,因此还可以实现****的吞吐量,并具有显着的拥有成本的优势,同时保留了可扩展性和易于维护的操作功能。另外,主模板的寿命延长到与用于光刻的掩模相当的时间。岱美作为EVG在中国区的代理商,欢迎各位联系我们,探讨纳米压印光刻的相关知识。我们愿意与您共同进步。
SmartNIL是基于紫外线曝光的全域型压印技术。河南纳米压印研发生产
EVG的SmartNIL技术是基于紫外线曝光的全场压印技术,可提供功能强大的下一代光刻技术。EVG620NT纳米压印有哪些应用
仪器仪表行业已经连续多年保持了经济高位运行的态势。即使当全球受金融风暴的影响,各个行业经济东圃有所放缓,但从全景发展情况看来,仪表行业的增长速度并没有放缓。在计算机和互联网的急速发展到整个世界的背景下,仪器仪表也开始向网络化突进,结合新的科技设备,通过广域网和局域网直接操控仪器仪表,对公司的管理,经营一体化,应用模式的分析等各大方面产生影响。其他有限责任公司企业通过网络这个平台与客户直接的交流,突破了世界和空间的限制,行家远程操控对仪器仪表进行维护和分析。高科技的产品也随之而来。伴随移动互联网的爆发式增长,如今,它已经渐渐取代电子商务成为了整个互联网产业增速**快的领域,而移动终端的入口也随即成为了传统行业的必争之地。半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪行业进军移动互联网实现线上发展势在必行。随着中国的不断进步,世界上只有一个救世主——市场,能救企业的只有你自己——自强,提高贸易型重点竞争力才是中国制造业的独一出路。以显微科学仪器行业的发展与变化为例,以亲身的实践为例,毛磊认为,随着经济的不断发展,我国的环境和实力都发生了巨大变化,有了完全不同的基础,这为国产科学仪器走向**增强了信心。EVG620NT纳米压印有哪些应用