白光干涉轮廓仪对比激光共聚焦轮廓仪
白光干涉3D显微镜:
干涉面成像,
多层垂直扫描
比较好高度测量精度:< 1nm
高度精度不受物镜影响
性价比好
激光共聚焦3D显微镜:
点扫描合成面成像,
多层垂直扫描
Keyence(日本)
比较好高度测量精度:~10nm
高度精度由物镜决定,1um精度@10倍
90万-130万
三维光学轮廓仪采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高 分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。(来自网络) 由于光罩中电路结构尺寸极小,任何微小的黏附异物和下次均会导致制造的晶圆IC表面存在缺 陷。北京轮廓仪价格
满足您需求的轮廓仪
使用范围广: 兼容多种测量和观察需求
保护性: 非接触式光学轮廓仪
耐用性更强, 使用无损
可操作性:一键式操作,操作更简单,更方便
智能性:特殊形状能够只能计算特征参数
个性化: 定制化客户报告模式
更好用户体验: 迅捷的售后服务,个性化应用软件支持
1.精度高,寿命长---采用超高精度气浮导轨作为直线测量基准,具有稳定性好、承载大、**磨损等优点,达到国内同类产品较高精度。 2.高精度光栅尺及进口采集卡---保证数据采样分辨率,准确度高,稳定性好。(网络) 北京轮廓仪价格菜单式系统设置,一键式操作,自动数据存储。
1)白光轮廓仪的典型应用:
对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺 陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
2)共聚焦显微镜方法
共聚焦显微镜包括LED光源、旋转多***盘、带有压电驱动器的物镜和CCD相机。LED光源通过多***盘(MPD)和物镜聚焦到样品表面上,从而反射光。反射光通过MPD的***减小到聚焦的部分落在CCD相机上。传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节,但是在共焦图像中,通过多***盘的操作滤除模糊细节(未聚焦),只有来自聚焦平面的光到达CCD相机。因此,共聚焦显微镜能够在纳米范围内获得高 分辨率。 每个共焦图像是通过样品的形貌的水平切片,在不同的焦点高度捕获图像产生这样的图像的堆叠,共焦显微镜通过压电驱动器和物镜的精确垂直位移来实现。200到400个共焦图像通常在几秒内被捕获,之后软件从共焦图像的堆栈重建精确的三维高度图像。
轮廓仪的性能
测量模式
移相干涉(PSI),白光垂直扫描干涉(VSI),单色光垂直扫描干涉(CSI)
样 品 台
150mm/200mm/300mm 样品台(可选配)
XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,倾斜:±5°
可选手动/电动样品台
CCD 相机像素
标配:1280×960
视场范围
560×750um(10×物镜)
具体视场范围取决于所配物镜及 CCD 相机
光学系统
同轴照明无限远干涉成像系统
光 源
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手动聚焦(可选电动聚焦)
Z 方向扫描范围 精密 PZT 扫描(可选择高精密机械扫描,拓展达 10mm )
纵向分辨率 <0.1nm
RMS 重复性* 0.005nm,1σ
台阶测量** 准确度 ≤0.75%;重复性 ≤0.1%,1σ
横向分辨率 ≥0.35um(100 倍物镜)
检测速度 ≤ 35um/sec , 与所选的 CCD NanoX-8000 Z 轴聚焦:100mm行程自动聚焦,0.1um移动步进。
轮廓仪是一种两坐标测量仪器,仪器传感器相对被测工件表而作匀速滑行,传感器的触针感受到被测表而的几何变化,在X和Z方向分别采样,并转换成电信号,该电信号经放大和处理,再转换成数字信号储存在计算机系统的存储器中,计算机对原始表而轮廓进行数字滤波,分离掉表而粗糙度成分后再进行计算,测量结果为计算出的符介某种曲线的实际值及其离基准点的坐标,或放大的实际轮廓曲线,测量结果通过显示器输出,也可由打印机输出。(来自网络)
轮廓仪在集成电路的应用:
封**ump测量
视场:72*96(um)物镜:干涉50X 检测位置:样品局部
面减薄表面粗糙度分析
封装:300mm硅片背面减薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析:2D, 3D显示;线粗糙度分析:Ra, Ry,Rz,…
器件多层结构台阶高 MEMS 器件多层结构分析、工艺控制参数分析
激光隐形切割工艺控制 世界***的能够实现激光槽宽度、深度自动识别和数据自动生成,**地缩
短了激光槽工艺在线检测的时间,避免人工操作带来的一致性,可靠性问题
自动聚焦范围 : ± 0.3mm。山东轮廓仪有哪些品牌
轮廓仪广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。北京轮廓仪价格
轮廓仪的**团队
夏勇博士,江苏省双创人才
15年ADE,KAL-Tencor半导体检测设备公司研发、项目管理经验
SuperSight Inc. CEO/共同创始人,太阳能在线检测设备
唐寿鸿博士,国家千人****
25年 ADE,KAL-Tencor半导体检测设备公司研发经验
KLA-Tencor ***研发总监,***图像处理、算法**
许衡博士,软件系统研发
10 年硅谷世界500强研发经验(BD Medical
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光学测量、软件系统
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