真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。洁净节能氮气柜的过滤系统:2.1EBM电子式...
可靠的测控系统1温度控制装置:进口温控器,内置PID自动整定,斜率设定功能2温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出,温度采集探头为特制铠装K型热电偶3温度监控装置:采用六通道巡回检测有纸记录仪,可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。完善的控制系统,及安全防护措施1操作控制系统,采用精密电子仪器仪表结合电力拖动系统控制,更快速,更稳定。2防护措施:紧急停止,超温保护,断线报警,相序保护,过载保护,短路保护,漏电保护,及电磁门禁保护等合肥真萍科技工业烤箱,****。江苏工业烤箱图片
石墨盘烤盘炉
一.产品介绍
真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。
二、设计特点
1、后门设计热风电机
2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向
3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的
三、技术指标
1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;
2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;
4、加热元件:石墨加热棒;
5、冷却方式:气冷 + 循环风冷降温;
6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;
7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);
8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;
9、极限真空: 10-3torr级;
10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr
11、升温功率:170kW;
12、升温速率:15℃/min(空载);
13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟
14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高) 合肥哪里有工业烤箱合肥真萍科技的工业烤箱怎么样?实地考察下真萍就知道了。
高温钟罩炉设备规格及结构炉膛结构:采用多晶莫来石材料砌筑而成外形尺寸:W1300×H2200×D1510(mm)一、热工系统1.1额定温度:1550℃1.2限制温度:1600℃1.3加热元件:U型硅钼棒1.4加热功率:16kW1.5空炉保温功率≤8kW1.6温区个数:1个1.7控温点数:1点1.8热偶:B分度1.9程序**精度:±2℃(大于600℃,升温速率≤3℃/min)二、气氛系统2.1炉膛气氛:2路空气,流量计量程为7~70L/min;每路流量可调节2.2排气系统:在炉膛顶部设置一个排气*囱,用于废气排放三、传动系统3.1传动方式:升降式3.2传动类型:电动推杆传动3.3容积:20L四、冷却系统4.1冷却结构:无4.2产品降温:随炉降温五、安全保护5.1升、降、停按钮:载料台的升、降、停控制5.2报警指示:超温、断偶、过载、超程、偏差等声光报警5.3设备安全升温速率≤5℃/min六、温度控制系统6.1温度测量:采用B分度热偶测量6.2控制方式:高性能移相调压+SCR晶闸管模块控制6.3限温处理:6.3.1当测量温度超过设定的安全值时,断加热,并报警6.3.2当测量温度超过目标温度达到限制偏差值时,报警6.4控制仪表:采用进口智能调节仪控制。具有PID参数自整定、高温上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能
中温气氛箱式炉主要用于磷酸铁锂正极材料等类似产品的高温烧结、热处理。一、热工系统1.额定温度800℃2.较高温度850℃3.加热元件陶瓷外丝加热管4.加热功率18kw5.空炉保温功率约9kw6.温区个数1个7.控温点数2点8.热偶K分度9.控温稳定度±1℃(恒温平台)10.炉膛温度均匀度±6℃(恒温800℃,1h)二、气氛系统1.炉膛气氛2路氮气,流量计量程为2~20L/min;每路流量可调节2.排气系统在炉膛顶部设置一个排气*囱,用于废气排放,废气3.经过水封清洗后进入大气中,减少对环境污染4.氧含量配氧含量分析仪分析氧含量:5.高温状态氧含量≤10ppm+气源氧含量6.低温状态氧含量≤50ppm+气源氧含量三、冷却系统1.冷却结构无2.产品降温随炉降温3.安全保护4.报警指示超温、断偶、停水、停气等声光报警保护5.设备安全升温速率≤5℃/min四、温度控制系统1.温度测量采用K分度热偶测量2.控制仪表采用进口智能调节仪控制。具有PID参数自整定、高温3.上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能4.控制方式固态继电器过零控制5.超温处理⑴.当测量温度超过设定的安全值时,断加热,并报警。⑵.当测量温度超过目标温度达到安全偏差值时,报警。广泛应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。
产品名称:洁净烘箱产品介绍:本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造,广泛应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。技术指标:1无尘等级:Class100:(符合FED-STD209E标准:0.3um≤300个0.5≤100个)2温度范围:+60℃~+250℃(极限温度350℃)3温度均匀性:±2℃(空箱测试)4温度精确度:±1℃(空箱测试)5设备型号规格:450*450*450;450*600*450;600*800*600;600*700*600;700*900*700;700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;1000*1300*1000;1000*1400*1000;箱体结构:1烘箱总体由箱体部分,电气控制柜部分,电加热部分,风道部分,尘埃物过滤部分,N2进气排气及风冷部分等组装而成,结构合理,功能实用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘,内胆材料:采进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。3保温材料:采用正厂玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充,有效的防止了热能浪费。4电热部分:采用进口覆套式电热器(SHEATHEDHEATER)无尘无氧化电热发生器工业烤箱哪家好,推荐合肥真萍科技。无尘工业烤箱报价
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真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。氮气监控系统:1.1、2.3”LED大屏幕数字显示湿度/温度。1.2、温湿度显示值0.1%-99.9%RH,温度显示值0.1℃-60.0℃。1.3、温湿度收集采准确传感器,长距离传输无误差。1.4、湿度控制:2.4.1利用湿度设定值来控制氮气流入,到达湿度设定值即停止进气,节省氮气耗用。2.4.2湿度在1%-60%RH可调整。1.5、温湿度记录功能:2.5.1内建内存,可储存温度/湿度,收集时间1~240分钟可自行设定。2.5.2可利用RS232连接阜下载至计算机中读取。2.5.3品管记录格式设计,有助于内部记录追踪并可支持数据库档案格式。1.6、湿度警报系统:1.6.1可设定启动警报的湿度值及条件,内配蜂鸣器(90分贝)及闪烁警示功能。1.6.2可另外选配积层式警示灯。1.7、温湿度偏移校正功能:内建校正功能,确保显示准确度。江苏工业烤箱图片
真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。洁净节能氮气柜的过滤系统:2.1EBM电子式...
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