AVI主动隔震台
AVI应用于扫描电镜
1、如有可能,拆下扫描电镜柱的侧板。
2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木块以增加高度。
3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓(如有必要)。
4、将***个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落,确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平,则使用垫片确保水平,并在各侧均匀地放置在地面上。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。光刻机隔振台电子显微镜SEM

TS-C
TS-C系列是紧凑的动态防振系统,可隔离所有六个平移和旋转振动模式。
这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比比较大,**昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动,还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如,这意味着即使通过操作员的手施加了力,由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。
该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。
有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。
该系统的设计即使在低至2-3
Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 TS-150/LP隔振台联系电话使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动,还可以隔离放置在系统本身上的振动源。

TS-140+40技术指标:
频率 负载范围 尺寸
0,7-1000 Hz 50-180公斤 500 x
600 x 84毫米
隔离:
动态0.7Hz至1kHz无源(超过1kHz)
传递率:
参见附件曲线10 Hz以上的透射率<0.01(-40dB)
矫正力:垂直+/- 8 N 水平+/- 4 N
静态合规性:垂直约12 µm
/ N 水平30-40 µm / N
比较大负载:50-180公斤
尺寸:500 x 600 x
84毫米
重量:28.5公斤
TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计
这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。
在公制(M6 x 25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
AVI-产品参数:AVI-200系列(负载:**多800kg)
型号:AVI-200SLP,AVI-200MLP,AVI-200XLP
系统形状:控制器与防振单元分离型
主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接前面的8个LED指示防振状态
尺寸:120×396×130×636×130×856×
控制器尺寸:241×287×142毫米
承重:400kg
单位重量:约9kg
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电源电压:95-240VAC50-60赫兹
耗电量:普通9W
工作温度范围:5℃〜40℃
工作湿度范围:10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)
可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 TS-140结合了久经考验的技术***性与优雅且对用户友好的设计。

TS特点:
◎在全部的6个自由度范围内,从0.7Hz到100Hz,TS系列产品提供优良的主动隔振性能。
◎当仪器装载时,高度调整会自动进行。
◎即使当负载偏离中心时,自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时,给予稳定性。
◎通过按下前方的按钮,系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。
◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。
◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用 安装好后参数不需要调整。桌面式隔振台隔振台供应商家
AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。光刻机隔振台电子显微镜SEM
TS-140+40
TS-140 +40结合了久经考验的技术特点与优雅且用户友好的设计
这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。
在公制(M6 x 25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计
TS-140 +40的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz后迅速增加至40db
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
用户友好,实用的操作优势是创新建筑理念的结果
TS-140 +40的高度*84毫米
TS 140 +40的重量*为28.5千克 光刻机隔振台电子显微镜SEM