实验室轮廓仪国内代理

NanoX-2000/3000

系列 3D 光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量（PSI）、白光垂直扫描干涉测量（VSI）和单色光

垂直扫描干涉测量（CSI）等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性（稳定性）定量地反映出被测件的表面粗

糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加

工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。

使用范围广: 兼容多种测量和观察需求  

保护性: 非接触式光学轮廓仪

耐用性更强， 使用无损 

可操作性:一键式操作，操作更简单，更方便  

轮廓仪的培训

一、 培训承诺

    系统建成后，我公司将为业主提供为期1天的**培训和技术资询；培训地点可以在我公司，亦或在工程现场；

    系统操作及管理人员的培训人数为10人，由业主指定，我公司将确保相关人员正确使用该系统；

1.1. 培训对象

    系统操作及管理人员（培训对象须具有专业技术的技术人员或实际值班操作人员）；

    其他业主指定的相关人员。

1.2. 培训内容

    系统操作使用说明书。

    培训课程的主要内容是系统的操作、系统的相关参数设定和修改和系统的维修与保养与简单升级等，具体内容如下：

    * 系统文档解读；

    * 系统的技术特点、安装维护和系统管理方式；

    * 系统一般故障排除。

湖北半导体设备轮廓仪NanoX-8000 Z 轴聚焦：100mm行程自动聚焦，0.1um移动步进。

如何正确使用轮廓仪

准备工作

1.测量前准备。

2.开启电脑、打开机器电源开关、检查机器启动是否正常。

3.擦净工件被测表面。

测量

1.将测针正确、平稳、可靠地移动在工件被测表面上。

2.工件固定确认工件不会出现松动或者其它因素导致测针与工件相撞的情况出现

3.在仪器上设置所需的测量条件。

4.开始测量。测量过程中不可触摸工件更不可人为震动桌子的情况产生。

5.测量完毕，根据图纸对结果进行分析，标出结果，并保存、打印。

轮廓的角度处理:  

角度处理：两直线夹角、直线与Y轴夹角、直线与X轴夹角点线处理：两直线交点、交点到直线距离、交点到交点距离、交点到圆心距离、交点到点距离圆处理：圆心距离、圆心到直线的距离、交点到圆心的距离、直线到切点的距离线处理：直线度、凸度、LG凸度、对数曲线

NanoX-8000 系统主要性能

▪ 菜单式系统设置，一键式操作，自动数据存储

▪ 一键式系统校准

▪ 支持连接MES系统，数据可导入SPC

▪ 具备异常报警，急停等功能，报警信息可储存

▪ MTBF ≥ 1500 hrs

▪ 产能 : 45s/点 （移动 + 聚焦 + 测量）（扫描范围 50um）

➢ 具备 Global alignment & Unit alignment

➢ 自动聚焦范围 ： ± 0.3mm

➢ XY运动速度 **快

表面三维微观形貌测量的意义

在生产中，表面三维微观形貌对工程零件的许多技术性能的评家具有**直接的影响，而且表面三维评定参数由于能更***，更真实的反应零件表面的特征及衡量表面的质量而越来越受到重视，因此表面三维微观形貌的测量就越显重要。通过兑三维形貌的测量可以比较***的评定表面质量的优劣，进而确认加工方法的好坏以及设计要求的合理性，这样就可以反过来通过知道加工，优化加工工艺以及加工出高质量的表面，确保零件使用功能的实现。

表面三位微观形貌的此类昂方法非常丰富，通常可分为接触时和非接触时两种，其中以非接触式测量方法为主。

轮廓仪可用于Oled 特征结构测量，表面粗糙度，外延片表面缺 陷检测，硅片外延表面缺 陷检测。

轮廓仪的自动拼接功能：

条件： 被测区域明显大于视场的区域，使用自动图片拼接。  

需要点击自动拼接， 轮廓仪会把移动路径上的拍图自动拼接起来。

软件会自适应计算路径上移动的偏差，自动消除移动中偏差，减小误差。

但是误差是一定存在的。

白光轮廓仪的典型应用：

对各种产品，不见和材料表面的平面度，粗糙度，波温度，面型轮廓，表面缺 陷，磨损情况，腐蚀情况，孔隙间隙，台阶高度，完全变形情况，加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。  

NanoX-2000/3000 系列 3D 光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量（PSI）、白光垂直扫描干涉测量（VSI）和单色光。联电轮廓仪美元报价

产能 : 45s/点 （移动 + 聚焦 + 测量）（扫描范围 50um）。实验室轮廓仪国内代理

1.5. 系统培训的注意事项

    如何使用电子书阅读软件和软、硬件的操作手册；

    数据采集功能的讲解：通讯端口、连接计算器、等待时间等参数的解释和参数设置；

    实际演示一一讲解；

    如何做好备份和恢复备份资料；

    当场演示各种报表的操作并进行操作解说；

    数据库文件应定时作备份，大变动时更应做好备份以防止系统重新安装时造成资料数据库的流失；

    在系统培训过程中如要输入一些临时数据应在培训结束后及时删除这些资料。

    备注：系统培训完成后应请顾客详细阅读软件操作手册，并留下公司“客户服务中心”的电话与个人名片，以方便顾客电话联系咨询。 实验室轮廓仪国内代理

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