桌面必须足够坚硬，以防止两个隔离单元绕其长水平轴相对旋转。蜂窝状垫板或30mm厚的铝板效果比较好，但可以使用石板甚至实木板。有关连接孔的位置，将电缆连接至隔离装置的两侧。附加装置通常与***个装置平行放置，但这并非***必要。但是，必须特别注意桌面的正确连接，如下所述。注意，也可以将隔离装置直接连接到所支持的设备上。在这种情况下，刚性安装是***必要的。我们很乐意为您提供比较好安装方法的建议。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。山东半导体设备隔振台
使用说明书
解锁系统后，将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。
调整负载补偿:
将负载放在**上面，并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。
沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿
按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板！
更改负载后，检查每个角是否自由移动！
将电源插头连接到背面的输入电源插座。
按下背面的电源按钮打开设备“ POWER” LED将点亮，而“ ACTIVE” LED开始闪烁。
大约30秒钟后，“活动” LED将保持点亮状态，并且系统现在可以使用了。
您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。
山东半导体设备隔振台使用D-Sub 15M-F电缆将T-Box连接到TS的背面。无需单独的电源。通过模式开关可以选择不同的激励方向。
TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振 从0.7 Hz 到100 Hz
在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。
在纳米技术中，为了获得可靠的结果，使用充气被动隔振台无法隔离低频振动，此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。
装载设备：
扫描电子显微镜，如 AFM3D表面分析仪，激光显微镜，激光干涉仪，液体表面张力测量系统，显微硬度测量仪，
医疗检测设备等
主动式隔震台工作机理
主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持比较好的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。
（1）实际测量的振动结果：AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz
到 200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。
（2）不同负载下的振动传递率：
AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。高频率范围内，随着隔振负载增加，隔震效果稍有提升。 AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。
把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起，表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果您现在对桌面施加很大的力，所有过载指示灯都将亮起，隔离指示灯将闪烁几秒钟，表示系统在过载解除（待机模式）之前暂时不再隔离。卸下过载后，隔离灯应再次亮起，系统开始隔离。一些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段，系统也在隔离，但增益降低。严重过载后，系统可能需要半分钟才能完全隔离，但通常只需要几秒钟。控制中心有超载指示灯。山东半导体设备隔振台
先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。山东半导体设备隔振台
传感器位置
传感器可以移动到任何期望的位置。 它可能位于负载下方或外部，但必须位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后连接时，传感器与AVI单元的方向必须保持不变。
支撑面的刚性
支撑表面的刚性很重要。 水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。 LFS和因此，AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬，以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。 倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。
运作方式
设置好并将电源连接到传感器后，就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。 绿色LED将点亮。 红色LED开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在，您可以通过按启用按钮来启用系统。 红色LED不应点亮了。 如果它们点亮，则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。
请注意，如果未启用LFS，则它将无效。
敏感的传感器单元，请勿撞击，敲打或跌落！
岱美仪器技术服务（上海）有限公司一直专注于磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 ，是一家仪器仪表的企业，拥有自己**的技术体系。目前我公司在职员工以90后为主，是一个有活力有能力有创新精神的团队。公司业务范围主要包括：半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪等。公司奉行顾客至上、质量为本的经营宗旨，深受客户好评。公司凭着雄厚的技术力量、饱满的工作态度、扎实的工作作风、良好的职业道德，树立了良好的半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪形象，赢得了社会各界的信任和认可。
