该系统的固有刚度比1
Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。
有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。
该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。
所有控制电路都内置在该单元**耗小于2.5W。该设备具有通用输入,可以连接到100至240 VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜(AFM, STM),干涉仪和其他高 分辨率仪器,从而使这些仪器能够达到**终的性能。事实证明,该表在支持灵敏实验(例如膜片钳,显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽)方面非常成功。 示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-*用于诊断目的。半导体设备隔振台供应商家
Herz 防震台/防振台是世界上****的防震台/防振台系统方案供应商之一。 在纳米技术的时代,极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响,必须改善测量环境,以发挥仪器的极大效能,达到比较好成果。 Nanotechnology正在改变,由高层次的研究波及各个行业的基本生产,要有效地发展纳米技术,消除振动尤为重要!
在过去的40年,HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商,并在此领域积累了丰富的经验。与此同时,测量技术有了很大的进步,一些**灵敏的设备会受被动式隔振系统中低频共振频率的干扰,只有主动式隔振系统能消除此类干扰。因此,HERZ在被动式隔振系统产品之外,补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。 半导体设备隔振台供应商家控制中心有超载指示灯。
AVI-600 / LP的每个单元均可调节,以适应0至600kg的负载。 对于任何设置由两个单元组成的系统上的负载,可在+/- 90kg之间变化,而不必重设调整。
***操作系统时,请将前面板隔离开关设置为OFF(黑色旋出)。 接通电源。 电源指示灯现在将点亮,并且24个显示LED将短暂闪烁。 黄色的使能LED将以大约2 Hz的频率闪烁。 如果剧烈震动存在或如果您将手放在桌面上,则某些或所有LED将闪烁。接通电源约30秒后,您可以将隔离开关推到ON位置(红色旋钮进入)。黄色LED现在将长久保持亮起,表明系统处于隔离。
Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有**的防振单元和控制器。
可能有多种变化,例如将其用作电子显微镜(SEM)的隔振台,或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。
特点:
・通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。
・安装时不需要参数调整,安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧,因此不需要空气弹簧。
・振动状态一目了然。
(可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。)
-加速度信号可以从外部输出。
(通过将BNC连接器连接到示波器,可以看到活动对象正在正常工作。 励磁箱允许将激励信号施加到TS隔离系统,以便该系统可以在任何方向上用作振动器。
AVI-400系列(负载:**多800kg)
型号:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP
系统形状:控制器与防振单元分离型
主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态
尺寸:190×396×190×720×220×856×
控制器尺寸:241×287×142毫米
承重*800kg
单位重量:约13kg;约19公斤,联络我们
电源电压:95-240VAC,50-60赫兹
耗电量:通常为18W
工作温度范围:5℃〜40℃工作湿度范围10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)
可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 所有范围内为±5%。控制单元必须与相应的测量头一起使用!高校隔振台可以免税吗
该表在支持灵敏实验(例如膜片钳,显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽)方面非常成功。半导体设备隔振台供应商家
AVI单元和传感器的方向
隔离单元和LFS传感器必须正确安装,这一点很重要取向!LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允许其他方向。
为确保连接正确,请按照下列步骤操作:
面向LFS传感器的蓝色LED站立。 将***个AVI元素连接到以下任意一个后面板上的12个D-Sub15插座。用笔滑动开关在位置A和D之间。
所有AVI元素必须连接到LFS单元上的插槽。正确的开关位置对于获得良好的性能至关重要隔离。
半导体设备隔振台供应商家
岱美仪器技术服务(上海)有限公司专注技术创新和产品研发,发展规模团队不断壮大。一批专业的技术团队,是实现企业战略目标的基础,是企业持续发展的动力。公司以诚信为本,业务领域涵盖半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,我们本着对客户负责,对员工负责,更是对公司发展负责的态度,争取做到让每位客户满意。一直以来公司坚持以客户为中心、半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪市场为导向,重信誉,保质量,想客户之所想,急用户之所急,全力以赴满足客户的一切需要。