上海隔振台

5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下，使模块从一侧到另一侧（而不是从前到后）横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧，不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40，则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝内，相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40，则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝外，彼此远离。

6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板，前后各27.5英寸，两侧各27英寸，在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时，确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。

7、系统就位后，使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜，直到其落在安装板上。抬起水平尺，直到它们向上并离开。 AVI 200-XL系统固有的刚性使得其有出色的方向性和位置稳定性。上海隔振台

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3性能

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。

LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。

AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。 德国隔振台售后服务AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。

1、使用2 mm内六角扳手（包括在内）拆下模块端板。

2、根据扫描电镜的重量调整模块。

在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙，允许每侧大约有2mm的行程。

B、使用M6活动扳手（包括）转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙（在**止动螺母和横撑之间）。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。

C、计算每个螺母的圈数；尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。

D、不要转动螺母太远，否则可能损坏系统。在任何情况下，外露螺纹不得超过10mm

3.装回模块上的端板

使用说明书

解锁系统后，将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。

调整负载补偿:

将负载放在**上面，并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。

沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿

按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板！

更改负载后，检查每个角是否自由移动！

将电源插头连接到背面的输入电源插座。

按下背面的电源按钮打开设备“ POWER” LED将点亮，而“ ACTIVE” LED开始闪烁。

大约30秒钟后，“活动” LED将保持点亮状态，并且系统现在可以使用了。

您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。

Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有**的防振单元和控制器。

AVI600-M

AVI 600-M的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI600-S适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。

AVI 600-M的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 600-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 600-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 600-M紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备（例如SEM）时进行任何复杂的操作。

技术指标：

频率：  1.2-200 Hz

负载范围：  0-1200公斤

（单件）：  600公斤 传感器可以移动到任何所需位置。上海隔振台

LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。上海隔振台

AVI-600系列（负载：1200kg）

型号：AVI-600SLP，AVI-600MLP，AVI-600XLP

形状：控制器与防振单元分离型

主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上

确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接，前面的8个LED指示防振状态

单位尺寸：288×396×288×720×318×856×

控制器尺寸；448x286x143毫米

承重：1200kg（相等）

单位重量：约20kg，约26kg，联络我们

电源电压：95-240VAC，50-60赫兹

耗电量：正常27W
工作温度范围：5℃〜40℃

工作湿度范围：10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）

可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询。

选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询

岱美仪器技术服务（上海）有限公司是一家磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 的公司，是一家集研发、设计、生产和销售为一体的专业化公司。岱美中国深耕行业多年，始终以客户的需求为向导，为客户提供***的半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪。岱美中国不断开拓创新，追求出色，以技术为先导，以产品为平台，以应用为重点，以服务为保证，不断为客户创造更高价值，提供更优服务。岱美中国始终关注仪器仪表行业。满足市场需求，提高产品价值，是我们前行的力量。