1)白光轮廓仪的典型应用:
对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺 陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
2)共聚焦显微镜方法
共聚焦显微镜包括LED光源、旋转多***盘、带有压电驱动器的物镜和CCD相机。LED光源通过多***盘(MPD)和物镜聚焦到样品表面上,从而反射光。反射光通过MPD的***减小到聚焦的部分落在CCD相机上。传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节,但是在共焦图像中,通过多***盘的操作滤除模糊细节(未聚焦),只有来自聚焦平面的光到达CCD相机。因此,共聚焦显微镜能够在纳米范围内获得高 分辨率。 每个共焦图像是通过样品的形貌的水平切片,在不同的焦点高度捕获图像产生这样的图像的堆叠,共焦显微镜通过压电驱动器和物镜的精确垂直位移来实现。200到400个共焦图像通常在几秒内被捕获,之后软件从共焦图像的堆栈重建精确的三维高度图像。
表面三维评定参数由于能更***,更真实的反应零件表面的特征。轮廓测量仪轮廓仪特点
NanoX-8000 3D轮廓测量主要技术参数
3D测量主要技术指标(1):
测量模式: PSI + VSI + CSI
Z轴测量范围: 大行程PZT 扫描 (300um 标配/500um选配)
10mm 精密电机拓展扫描
CCD相机: 1920x1200 高速相机(标配)
干涉物镜: 2.5X, 5X, 10X(标配), 20X, 50X, 100X(NIKON )
物镜切换: 5孔电动鼻切换 FOV: 1100x700um(10X物镜), 220x140um(50X物镜)
Z轴聚焦: 高精密直线平台自动聚焦
照明系统: 高 效长寿白光LED + 滤色镜片电动切换(绿色/蓝色)
倾斜调节: ±5°电动调节
横向分辨率: ≥0.35μm(与所配物镜有关)
3D测量主要技术指标(2):
垂直扫描速度: PSI : <10s,VSI/CSI:< 38um/s
高度测量范围: 0.1nm – 10mm
表面反射率: > 0.5%
测量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm
准确度 < 1nm
RMS重复性 < 0.01nm (1σ)
台阶高重复性:0.15nm(1σ)
VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm
准确度<1%
重复性<0.1% (1σ,10um台阶高) 轮廓测量仪轮廓仪特点光学系统:同轴照明无限远干涉成像系统。
我们的轮廓仪有什么优势呢
世界先进水平的产品技术
合理的产品价格
24小时到现场的本地化售后服务
无偿产品技术培训和应用技术支持
个性化的应用软件服务支持
合理的保质期后产品服务
更佳的产品性价比和更优解决方案
非接触式轮廓仪(光学轮廓仪)是以白光干涉为原理制成的一款高精度微观形貌测量仪器,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。(本段来自网络)
轮廓仪,能描绘工件表面波度与粗糙度,并给出其数值的仪器,采用精密气浮导轨为直线基准。轮廓测试仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器,作为精密测量仪器在汽车制造和铁路行业的应用十分***。(来自网络)
先进的轮廓仪集成模块
60年世界水平半导体检测技术研发和产业化经验
所有的关键硬件采用美国、德国、日本等
PI ,纳米移动平台及控制
Nikon,干涉物镜
NI,信号控制板和Labview64
控制软件
TMC 隔震平台
世界先进水平的计算机软硬件技术平台
VS2012/64位,.NET/C#/WPF
Intel Xeon 计算机
产能 : 45s/点 (移动 + 聚焦 + 测量)(扫描范围 50um)。
轮廓仪的培训
一、 培训承诺
系统建成后,我公司将为业主提供为期1天的**培训和技术资询;培训地点可以在我公司,亦或在工程现场;
系统操作及管理人员的培训人数为10人,由业主指定,我公司将确保相关人员正确使用该系统;
1.1. 培训对象
系统操作及管理人员(培训对象须具有专业技术的技术人员或实际值班操作人员);
其他业主指定的相关人员。
1.2. 培训内容
系统操作使用说明书。
培训课程的主要内容是系统的操作、系统的相关参数设定和修改和系统的维修与保养与简单升级等,具体内容如下:
* 系统文档解读;
* 系统的技术特点、安装维护和系统管理方式;
* 系统一般故障排除。
物镜是轮廓仪****的部件, 物镜的选择根据功能和检测的精度提出需求。**轮廓仪售后服务
摈弃传统检测方法耗时耗力,精确度低的缺点,**提高加工效率。轮廓测量仪轮廓仪特点
三、涵盖面广的2D、3D形貌参数分析:
表面三维轮廓仪可测量300余种2D、3D参数,无论加工的物件使用哪一种评定标准,都可以提供***的检测结果作为评定依据,可轻松获取被测物件精确的线粗糙度、面粗糙度、轮廓度等参数。
四、稳定性强,高重复性:
仪器运用高性能内部抗震设计,不受外部环境影响测量的准确性。超精密的Z向扫描模块和测量软件完美结合,保证高重复性,将测量误差降低到亚纳米级别。
三维表面轮廓仪是精密加工领域必不可少的检测设备,它既保障了生产加工的准确性,又提高了成品的出产效率,满足用户对各项2D,3D参数检测需求的同时,依然能够保持高重复性,高稳定性的运行,其对精密加工所产生的的作用是举足轻重的。 轮廓测量仪轮廓仪特点
岱美仪器技术服务(上海)有限公司位于金高路2216弄35号6幢306-308室,交通便利,环境优美,是一家贸易型企业。公司致力于为客户提供安全、质量有保证的良好产品及服务,是一家其他有限责任公司企业。以满足顾客要求为己任;以顾客永远满意为标准;以保持行业优先为目标,提供***的半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪。岱美中国自成立以来,一直坚持走正规化、专业化路线,得到了广大客户及社会各界的普遍认可与大力支持。