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·AVI系列振动传递率
横坐标为频率,纵坐标为传递率的数据,在10hz频率以上时,传递率的数据小于0.02,很好地起到了隔振作用。
AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据(实验室实验数据)
垂直方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,比较大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有**的防振单元和控制器。晶圆隔振台可以免税吗

5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下,使模块从一侧到另一侧(而不是从前到后)横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧,不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40,则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝内,相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40,则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝外,彼此远离。
6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板,前后各27.5英寸,两侧各27英寸,在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时,确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。
7、系统就位后,使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜,直到其落在安装板上。抬起水平尺,直到它们向上并离开。 衬底隔振台美元价使用D-Sub 15M-F电缆将T-Box连接到TS的背面。无需单独的电源。通过模式开关可以选择不同的激励方向。

TS特点:
◎在全部的6个自由度范围内,从0.7Hz到100Hz,TS系列产品提供优良的主动隔振性能。
◎当仪器装载时,高度调整会自动进行。
◎即使当负载偏离中心时,自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时,给予稳定性。
◎通过按下前方的按钮,系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。
◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。
◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用
AVI-600 / LP的每个单元均可调节,以适应0至600kg的负载。 对于任何设置由两个单元组成的系统上的负载,可在+/- 90kg之间变化,而不必重设调整。
***操作系统时,请将前面板隔离开关设置为OFF(黑色旋出)。 接通电源。 电源指示灯现在将点亮,并且24个显示LED将短暂闪烁。 黄色的使能LED将以大约2 Hz的频率闪烁。 如果剧烈震动存在或如果您将手放在桌面上,则某些或所有LED将闪烁。接通电源约30秒后,您可以将隔离开关推到ON位置(红色旋钮进入)。黄色LED现在将长久保持亮起,表明系统处于隔离。
在纳米技术的时代,极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响,必须改善测量环境。

Herz
Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器
LFS-3性能
LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。
LFS-3性能使用测振仪的V档并有50公斤的重量下测试的。LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。
AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。 AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。衬底隔振台美元价
Table Stable通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。晶圆隔振台可以免税吗
AVI-600系列(负载:1200kg)
型号:AVI-600SLP,AVI-600MLP,AVI-600XLP
形状:控制器与防振单元分离型
主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态
单位尺寸:288×396×288×720×318×856×
控制器尺寸;448x286x143毫米
承重:1200kg(相等)
单位重量:约20kg,约26kg,联络我们
电源电压:95-240VAC,50-60赫兹
耗电量:正常27W
工作温度范围:5℃〜40℃
工作湿度范围:10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)
可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询。
选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询
岱美仪器技术服务(上海)有限公司主营品牌有EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,发展规模团队不断壮大,该公司贸易型的公司。公司致力于为客户提供安全、质量有保证的良好产品及服务,是一家其他有限责任公司企业。公司业务涵盖半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,价格合理,品质有保证,深受广大客户的欢迎。岱美中国将以真诚的服务、创新的理念、***的产品,为彼此赢得全新的未来!