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隔振台基本参数
  • 品牌
  • Herz
  • 型号
  • AVI-200SLP,AVI-200SLP,AVI-200XLP,AVI-400SLP,AVI-40
  • 产地
  • 瑞士
  • 是否定制
隔振台企业商机

将手轻轻放在桌面上。上方区块中的一个或多个LED可能会亮起,指示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果你现在在桌面上施加很大的力,所有过载灯都会亮起,并且隔离指示灯将闪烁几秒钟,表明系统暂时不再隔离,直到过载消除(待机模式)。

消除过载后,隔离灯应再次亮起,系统开始隔离。某些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段系统正在隔离-但增益降低。严重过载后,系统可能需要半个小时分钟即可达到完全隔离,但通常只需要几秒钟。注意:在正常使用中,隔离开关可能会保持在ON位置(黑色旋钮在里面)。上接通电源后,黄色指示灯将首先闪烁,表明系统处于待机状态模式。大约30秒钟后,指示灯停止闪烁并保持点亮状态,表明系统处于隔离。


AVI 200-XL系统固有的刚性使得其有出色的方向性和位置稳定性。衬底隔振台价格怎么样

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1、使用2 mm内六角扳手(包括在内)拆下模块端板。

2、根据扫描电镜的重量调整模块。

在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙,允许每侧大约有2mm的行程。

B、使用M6活动扳手(包括)转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙(在**止动螺母和横撑之间)。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。

C、计算每个螺母的圈数;尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。

D、不要转动螺母太远,否则可能损坏系统。在任何情况下,外露螺纹不得超过10mm

3.装回模块上的端板 衬底隔振台价格怎么样AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。

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LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度,直至频率为约0.2Hz 传感器直接放置在地板上,并用于前馈回路中与标准AVI / LP系统结合使用,可在非常低的情况下提高隔振效果频率。 LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI / LP上测得的水平隔离度(透射率)有和没有LFS的系统。


将传感器连接到AVI /系统?

传感器LFS-2具有单独的电源,该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。 用D-Sub 25将电源连接到传感器电缆。

每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的 LFS的实际位置并不重要,但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub 15插座连接到传感器。


TS-140+40技术指标:

频率                   负载范围            尺寸

0,7-1000 Hz           50-180公斤    500 x

600 x 84毫米

隔离:

动态0.7Hz至1kHz无源(超过1kHz)

传递率:

参见附件曲线10 Hz以上的透射率<0.01(-40dB)

矫正力:垂直+/- 8 N     水平+/- 4 N

静态合规性:垂直约12 µm

/ N 水平30-40 µm / N

比较大负载:50-180公斤

尺寸:500 x 600 x

84毫米

重量:28.5公斤


TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计

这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。

在公制(M6 x 25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。


LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。

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AVI400-M

AVI 400-M的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。


AVI 400-M的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 400-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 400-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。


技术指标:

频率:  1.2-200Hz

负载范围:  0-800公斤

(单件): 400公斤 LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。衬底隔振台价格怎么样

简单,用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。衬底隔振台价格怎么样

地板上没有AVI产品加速度的数据。(图中横坐标为频率,纵坐标为加速度)

加上AVI产品开启隔振功能后,加速度的数据。(图中横坐标为频率,纵坐标为加速度)

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3性能

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。谢谢! 衬底隔振台价格怎么样

岱美仪器技术服务(上海)有限公司是一家磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 的公司,是一家集研发、设计、生产和销售为一体的专业化公司。公司自创立以来,投身于半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,是仪器仪表的主力军。岱美中国继续坚定不移地走高质量发展道路,既要实现基本面稳定增长,又要聚焦关键领域,实现转型再突破。岱美中国创始人陈玲玲,始终关注客户,创新科技,竭诚为客户提供良好的服务。

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