Herz
Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器
LFS-3性能
LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。
LFS-3性能使用测振仪的V档并有50公斤的重量下测试的。LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。
AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。 安装好后参数不需要调整。中芯国际隔振台样机试用
AVI400-M
AVI 400-M的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 400-M的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 400-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 400-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。
技术指标：
频率： 1.2-200Hz
负载范围： 0-800公斤
（单件）： 400公斤 中芯国际隔振台样机试用必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到比较好成果。
TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振 从0.7 Hz 到100 Hz
在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。
在纳米技术中，为了获得可靠的结果，使用充气被动隔振台无法隔离低频振动，此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。
装载设备：
扫描电子显微镜，如 AFM3D表面分析仪，激光显微镜，激光干涉仪，液体表面张力测量系统，显微硬度测量仪，
医疗检测设备等
技术指标：频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米
隔离：动态（超过1kHz）
透射率：参见附件曲线10Hz以上的透射率<（-40dB）
矫正力：垂直+/-8N水平+/-4N
静态合规性：大约垂直约12µm/N水平30-40µm/N
比较大负载：140公斤尺寸：500x600x84毫米
重量：28.5kg
电的安全等级：1个能量消耗：比较大10W负载调整时20W输入电压：115-230VAC+/-10％50-60Hz
超载：显示屏指示负载过重或严重失衡
监控信号：示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-*用于诊断目的
前面板显示菜单：显示仪器状态，包括：-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线
桌上尺寸：500x600毫米。 从低频率起提高一个隔振环境。
AVI 200-XL的隔离始于1,2 Hz，然后迅速增加至超过10Hz的35dB
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 200-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 200-XL隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程。
技术指标：
频率： 1,2-200 Hz
负载范围： 0-400公斤
AVI 200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元，比较大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量，可以轻松承受更高的负载。为了使AVI
200-M适应用户特定的应用，可以按特殊顺序提供不同长度的单个模块。 TS-140的高度*为84毫米。中芯国际隔振台样机试用
TS-140结合了久经考验的技术***性与优雅且对用户友好的设计。中芯国际隔振台样机试用
TS特点：
◎在全部的6个自由度范围内，从0.7Hz到100Hz，TS系列产品提供优良的主动隔振性能。
◎当仪器装载时，高度调整会自动进行。
◎即使当负载偏离中心时，自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时，给予稳定性。
◎通过按下前方的按钮，系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。
◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。
◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用 中芯国际隔振台样机试用
岱美仪器技术服务（上海）有限公司致力于仪器仪表，以科技创新实现***管理的追求。岱美中国作为磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 的企业之一，为客户提供良好的半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪。岱美中国不断开拓创新，追求出色，以技术为先导，以产品为平台，以应用为重点，以服务为保证，不断为客户创造更高价值，提供更优服务。岱美中国始终关注仪器仪表行业。满足市场需求，提高产品价值，是我们前行的力量。
