1、使用2 mm内六角扳手（包括在内）拆下模块端板。
2、根据扫描电镜的重量调整模块。
在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙，允许每侧大约有2mm的行程。
B、使用M6活动扳手（包括）转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙（在**止动螺母和横撑之间）。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。
C、计算每个螺母的圈数；尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。
D、不要转动螺母太远，否则可能损坏系统。在任何情况下，外露螺纹不得超过10mm
3.装回模块上的端板 隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。AVI-600XLP隔振台电子太平防震台应用
AVI
400-XL
AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 400-XL的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 400-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 400-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 400-XL紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。
技术指标：
频率： 1.2-200 Hz
负载范围： 0-800公斤
（单个）： 400公斤 AVI-600XLP隔振台电子太平防震台应用实际测量的振动结果：AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz 到 200Hz之间。
AVI主动隔震台
AVI应用于扫描电镜
1、如有可能，拆下扫描电镜柱的侧板。
2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要，在水平尺下放置木块以增加高度。
3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓（如有必要）。
4、将***个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸，左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落，确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平，则使用垫片确保水平，并在各侧均匀地放置在地面上。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。
Herz 防震台/防振台是世界上****的防震台/防振台系统方案供应商之一。 在纳米技术的时代，极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响，必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到比较好成果。 Nanotechnology正在改变，由高层次的研究波及各个行业的基本生产，要有效地发展纳米技术，消除振动尤为重要！
在过去的40年，HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商，并在此领域积累了丰富的经验。与此同时，测量技术有了很大的进步，一些**灵敏的设备会受被动式隔振系统中低频共振频率的干扰，只有主动式隔振系统能消除此类干扰。因此，HERZ在被动式隔振系统产品之外，补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。 LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。
TS特点：
◎在全部的6个自由度范围内，从0.7Hz到100Hz，TS系列产品提供优良的主动隔振性能。
◎当仪器装载时，高度调整会自动进行。
◎即使当负载偏离中心时，自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时，给予稳定性。
◎通过按下前方的按钮，系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。
◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。
◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用 AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。AVI隔振台
LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。AVI-600XLP隔振台电子太平防震台应用
技术指标：频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米
隔离：动态（超过1kHz）
透射率：参见附件曲线10Hz以上的透射率<（-40dB）
矫正力：垂直+/-8N水平+/-4N
静态合规性：大约垂直约12µm/N水平30-40µm/N
比较大负载：140公斤尺寸：500x600x84毫米
重量：28.5kg
电的安全等级：1个能量消耗：比较大10W负载调整时20W输入电压：115-230VAC+/-10％50-60Hz
超载：显示屏指示负载过重或严重失衡
监控信号：示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-*用于诊断目的
前面板显示菜单：显示仪器状态，包括：-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线
桌上尺寸：500x600毫米。 AVI-600XLP隔振台电子太平防震台应用
岱美仪器技术服务（上海）有限公司主要经营范围是仪器仪表，拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。公司业务涵盖半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪等，价格合理，品质有保证。公司注重以质量为中心，以服务为理念，秉持诚信为本的理念，打造仪器仪表良好品牌。岱美中国凭借创新的产品、专业的服务、众多的成功案例积累起来的声誉和口碑，让企业发展再上新高。
