传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。用D-Sub25电缆将电源连接到传感器。每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub 15插座（诊断插座）连接到传感器
设置并将电源连接到传感器后，系统即可使用。
按下电源上的电源旋钮，打开电源。绿色的LED将亮起。红色的发光二极管开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在您可以通过按下启用按钮来启用系统。红色的发光二极管不应该再亮了。如果它们亮了，那意味着系统超载，建筑物内的振动太严重。 AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。干涉测量隔振台大型半导体设备防震台应用
TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计
TS-140 +40的隔离始于0.7 Hz，超过10Hz后迅速增加至40db
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果
TS-140 +40的高度*84毫米
TS 140 +40的重量*为28.5千克 电子显微镜隔振台超快激光系统防震台应用AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。
TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振 从0.7 Hz 到100 Hz
在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。
在纳米技术中，为了获得可靠的结果，使用充气被动隔振台无法隔离低频振动，此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。
装载设备：
扫描电子显微镜，如 AFM3D表面分析仪，激光显微镜，激光干涉仪，液体表面张力测量系统，显微硬度测量仪，
医疗检测设备等
AVI 200-XL的隔离始于1,2 Hz，然后迅速增加至超过10Hz的35dB
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 200-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 200-XL隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程。
技术指标：
频率： 1,2-200 Hz
负载范围： 0-400公斤
AVI 200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元，比较大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量，可以轻松承受更高的负载。为了使AVI
200-M适应用户特定的应用，可以按特殊顺序提供不同长度的单个模块。 所有范围内为±5％。控制单元必须与相应的测量头一起使用！
把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起，表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果您现在对桌面施加很大的力，所有过载指示灯都将亮起，隔离指示灯将闪烁几秒钟，表示系统在过载解除（待机模式）之前暂时不再隔离。卸下过载后，隔离灯应再次亮起，系统开始隔离。一些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段，系统也在隔离，但增益降低。严重过载后，系统可能需要半分钟才能完全隔离，但通常只需要几秒钟。垂直方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到40dB的衰减。HERZ隔振台电子显微镜SEM
LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。干涉测量隔振台大型半导体设备防震台应用
将手轻轻放在桌面上。上方区块中的一个或多个LED可能会亮起，指示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果你现在在桌面上施加很大的力，所有过载灯都会亮起，并且隔离指示灯将闪烁几秒钟，表明系统暂时不再隔离，直到过载消除（待机模式）。
消除过载后，隔离灯应再次亮起，系统开始隔离。某些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段系统正在隔离-但增益降低。严重过载后，系统可能需要半个小时分钟即可达到完全隔离，但通常只需要几秒钟。注意：在正常使用中，隔离开关可能会保持在ON位置（黑色旋钮在里面）。上接通电源后，黄色指示灯将首先闪烁，表明系统处于待机状态模式。大约30秒钟后，指示灯停止闪烁并保持点亮状态，表明系统处于隔离。
干涉测量隔振台大型半导体设备防震台应用
岱美仪器技术服务（上海）有限公司位于金高路2216弄35号6幢306-308室。公司业务分为半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪等，目前不断进行创新和服务改进，为客户提供良好的产品和服务。公司注重以质量为中心，以服务为理念，秉持诚信为本的理念，打造仪器仪表良好品牌。岱美中国秉承“客户为尊、服务为荣、创意为先、技术为实”的经营理念，全力打造公司的重点竞争力。
