TS-C
TS-C系列是紧凑的动态防振系统,可隔离所有六个平移和旋转振动模式。
这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比比较大,**昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动,还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如,这意味着即使通过操作员的手施加了力,由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。
该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。
有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。
该系统的设计即使在低至2-3
Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 控制中心有超载指示灯。光刻机隔振台激光设备主动防震应用

AVI主动隔震台
AVI应用于扫描电镜
1、如有可能,拆下扫描电镜柱的侧板。
2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木块以增加高度。
3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓(如有必要)。
4、将***个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落,确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平,则使用垫片确保水平,并在各侧均匀地放置在地面上。
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 原装进口隔振台可以免税吗LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz。

Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有**的防振单元和控制器。
可能有多种变化,例如将其用作电子显微镜(SEM)的隔振台,或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。
特点:
・通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。
・安装时不需要参数调整,安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧,因此不需要空气弹簧。
・振动状态一目了然。
(可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。)
-加速度信号可以从外部输出。
(通过将BNC连接器连接到示波器,可以看到活动对象正在正常工作。
TS-300结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计
TS-300的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40dB
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 TS-140的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40db。

主动式隔震台工作机理
主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持比较好的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。
(1)实际测量的振动结果:AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz
到 200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。
(2)不同负载下的振动传递率:
AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。高频率范围内,随着隔振负载增加,隔震效果稍有提升。 ***使用AVI系统时,将前面板隔离开关设置为关闭(黑色旋钮熄灭)。AVI-400SLP隔振台用途是什么
测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持比较好的隔振状态。光刻机隔振台激光设备主动防震应用
LFS
LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上,并与标准AVI / LP系统结合使用在前馈环路中,以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。
LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定,并满足EEC指令73/23的相关要求。系统符合EEC指令89/336(电磁兼容性)
每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要,但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub 15插座(诊断插座)连接到传感器。 光刻机隔振台激光设备主动防震应用
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