AVI-400XLP隔振台激光设备主动防震应用

TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计

TS-140 +40的隔离始于0.7 Hz，超过10Hz后迅速增加至40db

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”

用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果

TS-140 +40的高度*84毫米

TS 140 +40的重量*为28.5千克 传感器可以移动到任何所需位置。AVI-400XLP隔振台激光设备主动防震应用

TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振  从0.7 Hz 到100 Hz

在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。

在纳米技术中，为了获得可靠的结果，使用充气被动隔振台无法隔离低频振动，此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。

装载设备：

扫描电子显微镜，如 AFM3D表面分析仪，激光显微镜，激光干涉仪，液体表面张力测量系统，显微硬度测量仪，

医疗检测设备等 **隔振装置隔振台可以免税吗振动分析系统VA-2C是带有远程测量头的系统，可轻松测量三个正交方向上的加速度，速度或位移。

桌面必须足够坚硬，以防止两个隔离单元绕其长水平轴相对旋转。蜂窝状垫板或30mm厚的铝板效果比较好，但可以使用石板甚至实木板。有关连接孔的位置，将电缆连接至隔离装置的两侧。附加装置通常与***个装置平行放置，但这并非***必要。但是，必须特别注意桌面的正确连接，如下所述。注意，也可以将隔离装置直接连接到所支持的设备上。在这种情况下，刚性安装是***必要的。我们很乐意为您提供比较好安装方法的建议。

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。

AVI400-M

AVI 400-M的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。

AVI 400-M的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 400-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 400-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。

技术指标：

频率：  1.2-200Hz

负载范围：  0-800公斤

（单件）： 400公斤 测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持比较好的隔振状态。

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3性能

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。

LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。

AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。 Table Stable通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。AVI-400XLP隔振台激光设备主动防震应用

隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。AVI-400XLP隔振台激光设备主动防震应用

AVI-产品参数：AVI-200系列（负载：**多800kg）

型号：AVI-200SLP，AVI-200MLP，AVI-200XLP

系统形状：控制器与防振单元分离型

主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上

确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接前面的8个LED指示防振状态

尺寸：120×396×130×636×130×856×

控制器尺寸：241×287×142毫米

承重：400kg

单位重量：约9kg

联络我们

电源电压：95-240VAC50-60赫兹

耗电量：普通9W

工作温度范围：5℃〜40℃

工作湿度范围：10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）

可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 AVI-400XLP隔振台激光设备主动防震应用

岱美仪器技术服务（上海）有限公司位于上海市，创立于2002-02-07。岱美中国致力于为客户提供质量的[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]，一切以用户需求为中心,深受广大客户的欢迎。公司注重以质量为中心，以服务为理念，秉持诚信为本的理念，打造仪器仪表质量品牌。在社会各界的鼎力支持下，经过公司所有人员的努力，公司自2002-02-07成立以来，年营业额达到100-200万元。