TS-140/LP隔振台大型半导体设备防震台应用

AVI400-M

AVI 400-M的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。

AVI 400-M的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 400-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 400-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。

技术指标：

频率：  1.2-200Hz

负载范围：  0-800公斤

（单件）： 400公斤 LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。TS-140/LP隔振台大型半导体设备防震台应用

LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出，这些AVI元件以任意4个矩形方向（即平行或直角）放置，不允许其他方向。

面向LFS传感器的蓝色LED直立。将***个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。

传感器的位置:

传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部，但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后，传感器与AVI单元的方向必须保持不变。

支承面刚度:

支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此，LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬，以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和，隔离将失效。 发射式电子显微镜隔振台有谁在用安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。

地板上没有AVI产品加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）

加上AVI产品开启隔振功能后，加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。

LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，与标准AVI/LP系统结合使用在前馈回路中，以提高极低频时的隔振性能。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。下面的图显示了在AVI/LP系统上测量的垂直和水平隔离（可传输性），其具有和不具有LFS。用AVI-200 S/LP进行测量，增益设置为128（V）和150（H）。

输入电压：115/230V

AC，50-60Hz        功耗：比较大20瓦

频率范围：0.2-20Hz       尺寸传感器：255x245x107mm（长x宽x高）

电源尺寸：265x155x73mm（长x宽x高） 重量传感器：5.9kg

供电重量：1.6kg                        应用：室内

防护等级：IP 20                        温度范围 ：5°C-40°C

相对湿度：10–90%（5–30°C）

必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到比较好成果。

LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度，直至频率为约0.2Hz 传感器直接放置在地板上，并用于前馈回路中与标准AVI / LP系统结合使用，可在非常低的情况下提高隔振效果频率。 LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI / LP上测得的水平隔离度（透射率）有和没有LFS的系统。

将传感器连接到AVI /系统？

传感器LFS-2具有单独的电源，该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。 用D-Sub 25将电源连接到传感器电缆。

每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的 LFS的实际位置并不重要，但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub 15插座连接到传感器。

LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。TS-140/LP隔振台大型半导体设备防震台应用

    技术指标：频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米

隔离：动态（超过1kHz）

透射率：参见附件曲线10Hz以上的透射率<（-40dB）

矫正力：垂直+/-8N水平+/-4N

静态合规性：大约垂直约12µm/N水平30-40µm/N

比较大负载：140公斤尺寸：500x600x84毫米

重量：28.5kg

电的安全等级：1个能量消耗：比较大10W负载调整时20W输入电压：115-230VAC+/-10％50-60Hz

超载：显示屏指示负载过重或严重失衡

监控信号：示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-*用于诊断目的

前面板显示菜单：显示仪器状态，包括：-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线

桌上尺寸：500x600毫米。 TS-140/LP隔振台大型半导体设备防震台应用

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