TS 系列隔振台大型半导体设备防震台应用

Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有**的防振单元和控制器。

可能有多种变化，例如将其用作电子显微镜（SEM）的隔振台，或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。

特点：

・通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。

・安装时不需要参数调整，安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧，因此不需要空气弹簧。

・振动状态一目了然。

（可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。）

-加速度信号可以从外部输出。

（通过将BNC连接器连接到示波器，可以看到活动对象正在正常工作。 传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。TS 系列隔振台大型半导体设备防震台应用

传感器位置

传感器可以移动到任何期望的位置。 它可能位于负载下方或外部，但必须位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后连接时，传感器与AVI单元的方向必须保持不变。

支撑面的刚性

支撑表面的刚性很重要。 水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。 LFS和因此，AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬，以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。 倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。

运作方式

设置好并将电源连接到传感器后，就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。 绿色LED将点亮。 红色LED开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在，您可以通过按启用按钮来启用系统。 红色LED不应点亮了。 如果它们点亮，则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。

请注意，如果未启用LFS，则它将无效。

敏感的传感器单元，请勿撞击，敲打或跌落！

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3性能

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。

LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。

AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。

5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下，使模块从一侧到另一侧（而不是从前到后）横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧，不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40，则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝内，相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40，则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝外，彼此远离。

6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板，前后各27.5英寸，两侧各27英寸，在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时，确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。

7、系统就位后，使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜，直到其落在安装板上。抬起水平尺，直到它们向上并离开。 LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz。

TS-140+40技术指标：

频率                   负载范围            尺寸

0,7-1000 Hz           50-180公斤    500 x

600 x 84毫米

隔离：

动态0.7Hz至1kHz无源（超过1kHz）

传递率：

参见附件曲线10 Hz以上的透射率<0.01（-40dB）

矫正力：垂直+/- 8 N     水平+/- 4 N

静态合规性：垂直约12 µm

/ N 水平30-40 µm / N

比较大负载：50-180公斤

尺寸：500 x 600 x

84毫米

重量：28.5公斤

TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计

这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。

在公制（M6 x 25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。

TS-140的高度*为84毫米。主动减振台隔振台国内代理

LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。TS 系列隔振台大型半导体设备防震台应用

AVI主动隔震台

AVI应用于扫描电镜

1、如有可能，拆下扫描电镜柱的侧板。

2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要，在水平尺下放置木块以增加高度。

3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓（如有必要）。

4、将***个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸，左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落，确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平，则使用垫片确保水平，并在各侧均匀地放置在地面上。

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 TS 系列隔振台大型半导体设备防震台应用

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