TS-300结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计TS-300的隔离始于0.7Hz，超过10Hz时迅速增加至40dB缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。光刻机隔振台原理
1.更换SEM侧面板（如有必要）。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。2.将电源线插入控制器背面。翻转前面板上的“ON”开关。按红色按钮启用活动隔离。3.几秒钟后，使能LED指示灯将变稳定，指示系统已正确隔离。轻轻敲击SEM时，控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。4.如果一个或多个指示灯持续亮起，或者在正常情况下指示灯不熄灭，或者如果点击不亮，则表明传感器过载。请仔细检查以下内容：没有任何东西触及模块，连接模块和SEM的所有电缆均松弛，并且已针对负载适当调整了模块。AVI-600MLP隔振台电子显微镜STM使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动，还可以隔离放置在系统本身上的振动源。
隔振台TS-140+40的技术指标：频率负载范围尺寸:0,7-1000Hz50-180公斤500x600x84毫米隔离：动态（超过1kHz）传递率：参见附件曲线10Hz以上的透射率<（-40dB）矫正力：垂直+/-8N水平+/-4N静态合规性：垂直约12µm/N水平30-40µm/N最大负载：50-180公斤尺寸：500x600x84毫米重量：在公制（M6x25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。如果您有任何需要了解的，请随时联系我们岱美仪器技术服务有限公司。记得访问官网。
LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出，这些AVI元件以任意4个矩形方向（即平行或直角）放置，不允许其他方向。面向LFS传感器的蓝色LED直立。将弟一个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。传感器的位置:传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部，但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后，传感器与AVI单元的方向必须保持不变。支承面刚度:支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此，LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬，以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和，隔离将失效。Table Stable通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。
传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。用D-Sub25电缆将电源连接到传感器。每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座（诊断插座）连接到传感器设置并将电源连接到传感器后，系统即可使用。按下电源上的电源旋钮，打开电源。绿色的LED将亮起。红色的发光二极管开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在您可以通过按下启用按钮来启用系统。红色的发光二极管不应该再亮了。如果它们亮了，那意味着系统超载，建筑物内的振动太严重。选择隔振台选择岱美仪器。光刻机隔振台原理
传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。光刻机隔振台原理
主动式隔震台工作机理主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持蕞佳的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。（1）实际测量的振动结果：AVI主动隔振频率范围在1.0Hz到200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。（2）不同负载下的振动传递率：AVI的隔振性能在负载低于30Hz以下时是一个重要的参照。高频率范围内，随着隔振负载增加，隔震效果稍有提升。光刻机隔振台原理
