HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低频感应器LFS-3性能LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz.感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。LFS-3性能使用测振仪的V档并有50公斤的重量下测试的。LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。传感器LFS-3有一个单独的电源,通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。AVI-400MLP隔振台干涉测量应用

传感器位置传感器可以移动到任何期望的位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元素的同一表面上。制作后连接时,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。支撑面的刚性支撑表面的刚性很重要。水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。LFS和因此,AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬,以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。运作方式设置好并将电源连接到传感器后,就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。绿色LED将点亮。红色LED开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在,您可以通过按启用按钮来启用系统。红色LED不应点亮了。如果它们点亮,则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。请注意,如果未启用LFS,则它将无效。敏感的传感器单元,请勿撞击,敲打或跌落!AVI-400MLP隔振台干涉测量应用先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。

我们是岱美仪器。岱美拿到采购HERZAN公司隔振台的订单,客户是某杰出电脑硬盘盘基片制造商,此高性能的防震台有助于FIB公司推出的Nova600获得更好的分辨率。订单于2008年九月完成。此高性能的防震台由世界杰出的防震专业厂家HEZAN公司提供。AVI系列的防震台设计于结构紧凑,模块化的系统。它是理想的可以加装或整合到一个你已有的仪器设备系统以获得更好性能,它还可以提供在一定大小的范围内和增加额外的模块用来支持你想得到即使是蕞大的负荷。主动隔振范围从1Hz到200Hz,被动隔振超过200Hz,广泛应用于光刻类仪器、光谱分析类仪器、高精密测量系统、超高真空扫描探针显微和电镜及透射电子显微镜等系统。
AVI600-MAVI600-M的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI600-S适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI600-M的隔离始于1,2Hz,超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI600-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI600-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI600-M紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备(例如SEM)时进行任何复杂的操作。技术指标:频率:1.2-200Hz负载范围:0-1200公斤(单件):600公斤使用D-Sub 15M-F电缆将T-Box连接到TS的背面。无需单独的电源。通过模式开关可以来选择不同的激励方向。

LFSLFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上,并与标准AVI/LP系统结合使用在前馈环路中,以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定,并满足EEC指令73/23的相关要求。系统符合EEC指令89/336(电磁兼容性)每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要,但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座(诊断插座)连接到传感器。AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,蕞大负载为800公斤。AVI-400MLP隔振台高性价比选择
Herz 防震台/防振台是世界上蕞只名的防震台/防振台系统方案供应商之一。AVI-400MLP隔振台干涉测量应用
LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度,直至频率为约0.2Hz传感器直接放置在地板上,并用于前馈回路中与标准AVI/LP系统结合使用,可在非常低的情况下提高隔振效果频率。LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI/LP上测得的水平隔离度(透射率)有和没有LFS的系统。将传感器连接到AVI/系统?传感器LFS-2具有单独的电源,该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。用D-Sub25将电源连接到传感器电缆。每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的LFS的实际位置并不重要,但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub15插座连接到传感器。AVI-400MLP隔振台干涉测量应用