洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。中文名洁净室外文名CleanRoom亦称无尘车间、无尘室主要功能控制空气污染应用场合精密机械工业、半导体工业等行业目录1简介2分类▪按气流的流动状态分▪按受控粒子的性质划分3实现洁净度要求的通风措施4洁净室气流组织考虑原则5洁净室的负荷特点和节能6洁净室设计对生产工艺的要求洁净室简介编辑洁净室的发展与现代工业、前列技术密切联系在一起。由于精密机械工业（如陀螺仪、微型轴承等加工）、半导体工业（如大规模集成电路生产）等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率*10%~15%，64为储存器*2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。[1]洁净室分类编辑洁净室按气流的流动状态分根据气流的流动状态分，主要有以下三种气流分布的洁净室[1]：（1）非单向流洁净室：以前常称为乱流型洁净室，室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点：终端过滤器（高效或亚高效）尽量接近洁净室，它可以就是送风口或直接连送风口，也可以接到房间的送风静压箱上。 洁净室的洁净度范围是多少？找上海中沃。南京三十万洁净室
二、气流组织：洁净室的气流组织与一般空调房间有所不同，它要求将**干净的空气首先送到操作部位，它的作用在于限制和减少对加工物的污染。为此，在设计气流组织时应考虑这些原则:尽量减少涡流，避免将工作区以外的污染带入工作区;尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会;工作区的气流要尽量均匀，且其风速要满足工艺和卫生要求，当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走。根据不同的洁净度要求，选择不同的送、回风方式。不同的气流组织，各有其特点和范围：1）垂直单向流:均可获得均匀向下气流，便于工艺设备布置，自净能力强，可简化人身净化设施等共同设施等共同优点外，四种送风方式还有其各自优缺点:满布高效过滤器具有阻力低、更换过滤器周期长等优点，但顶棚结构复杂，造价高;侧布高效过滤器顶送、全孔板顶送与满布高效过滤器顶送的优缺点相反，其中全孔板顶送在系统非连续运行时，孔板内表面易积尘，维护不好，对洁净度有些影响;密集散流器顶送，因需要一段混和层，所以只适用于4m以上高大洁净室，其特点与全孔板顶送相仿;对于相对两侧格栅的板和相对两侧墙下部均匀布置回风口的回风方式*适用两侧净间距小于6m的洁净室。 无锡净化洁净室什么是洁净室？找上海中沃。
洁净车间功能温度测试：应将洁净工作区划分为等面积的栅格，每个分格面积不超过100平方米或与建设方协商确定，每格测点1个以上，每个房间测点至少2个。测试高度应为工作面高度，距的吊顶、墙面和地面不小于300mm，并应考虑热源等的影响，测量时间应至少1H，并至少6min测量一次，读数稳定后做好记录。洁净车间一般温度测试的测点，每个温度控制区或每个房间1个测点，测试点高度宜为工作面高度，测量时间应至少1H，并至少6min测量一次，读数稳定后做好记录。洁净车间湿度的测试：湿度测试可采用通风干湿球湿度计、电容式湿度计、数字式湿度计、毛发式湿度仪器。相对湿度测试的测点、测试频度和时间与温度测试时间相同，应一同测试。温度测试是确认空气处理设施的温度控制能力，温度测试应在洁净车间进行调试，气流均匀性测试完成，并在净化空调系统连续运行24H以上后进行。洁净车间的温度测试有功能温度测试和一般温度测试。功能温度测试主要用于需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时应用;一般温度测试主要使用于“空态”时温度测试。
洁净室的作用：通过室内送、回风（即风循环）将室内的空气进行不同等级和效率的初中高级过滤，使得室内空气中浮游的粒子和微粒子的数量降低至可以达到或满足生产工艺或研究作业的要求。洁净室的分类：按用途来说一般分为两类，工业洁净室和生物洁净室。工业洁净室——以无生命微粒的控制为对象，主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。主要适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）、宇航工业、高纯度化学工业、原理能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产等）、lcd(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多个行业。生物洁净室——主要控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。生物洁净室又分为两种：一般生物洁净室——主要控制微生物（细菌）对象的污染，同时其内部材料要能经受各种灭菌剂的侵蚀，内部一般都是保证正压，实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。例如：制药工业、医院（手术无菌病房）、食品、化妆品、饮料产品等的生产工业、动物实验室、理化检验室、血战等生物学安全洁净室——主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。
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工业洁净室主要根据室内洁净度、气流形式、控制对象、室内净高和结构特点分类。按室内洁净度分类主要分为1级、10级、100级、10000级、10000级。按气流形式分类分为单向流、矢流式和乱流式。按控制对象分类分为工业洁净室和生物洁净室。前者以空气中的悬浮尘埃为控制对象，后者以悬浮生物粒子(微生物)为控制对象。按室内高度分类，分为低层洁净室和高层洁净室。前者室内净高低于3m，后者超过3m。乱流型洁净室室内空气状态一般与设有空调设备的室内空气一样由顶部送风，经设置在室内适当位置的回风口排风。这种送风方式是以稀释方法达到净化目的，即室内含尘空气被洁净空气稀释后，降低了粉尘浓度。乱流洁净室只要管理得当，就能达到10000级的洁净度。单向流洁净室主要特点是，气流速度低、流线平行、分布均匀、不扰乱室内空气，因而地面、工作面无粒子飞扬，不易形成局部死角，悬浮状态粒子沿着一定流线随气流排出室外，可以达到较高的洁净等级，是理想的一种气流组织形式。单向流洁净室按气流流向又可分为垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。垂直单向流洁净室以高效过滤器作为送风口布满顶棚，地板全部作成回风口，使气流自上而下地流动。在这种洁净室中。
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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了，所以必须有±，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以***。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好温度范围为35—45%。气压规定对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。 南京三十万洁净室
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