纳米精度激光干涉仪多层厚度测量

干涉仪注意事项

1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。2、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。3、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。 以太网Web界面（工业4.0）。纳米精度激光干涉仪多层厚度测量

检验周期规定

A.控制盘和配电盘仪表的定期检验应与该仪表所连接的主要设备的大修日期一致，不应延误。但主要设备主要线路的仪表应每年检验一次，其它盘的仪表每四年至少检验一次；

B.对运行中设备的控制盘仪表的指示发生疑问时，可用标准仪表在其工作点上用比较法进行核对；

C.可携式仪表(包括台表)的检验，每年至少一次，常用的仪表每半年至少一次。经两次以上检验，证明质量好的仪表，可以延长检验期一倍。D.万用电表、钳形表每四年至少检验一次。兆欧表和接地电阻测定器每二年至少检验一次，但用于高压电路使用的钳形表和作吸收比用的兆欧表每年至少检验一次。 翘曲度激光干涉仪高精度测量提供： 反射器表面误差，s（Φ）。 XY-跳动运动误差，εX（Φ）和εy（Φ）。

多抽头电流互感器。这种型号的电流互感器，一次绕组不变，在绕制二次绕组时，增加几个抽头，以获得多个不同变比。它具有一个铁心和一个匝数固定的一次绕组，其二次绕组用绝缘铜线绕在套装于铁心上的绝缘筒上，将不同变比的二次绕组抽头引出，接在接线端子座上，每个抽头设置各自的接线端子，这样就形成了多个变比，此种电流互感器的优点是可以根据负荷电流变比，调换二次接线端子的接线来改变变比，而不需要更换电流互感器，给使用提供了方便。

精密机械技术

专科大学的专业课程

精密机械技术是一个大学专业课程，培养掌握精密机械与仪器的基础理论和专业知识，事精密仪器与机械的设计制造，以及设备的测量控制和维护管理的高级技术应用性专门人才。

中枢能力：精密机械设计制造、信息处理、测量和控制的技能。

专业中枢课程与主要实践环节：机械设计基础、电工与电子学、互换性和技术测量、微机原理与应用、传感器、信号分析与处理、控制工程基础、工程光学基础、精密机械与仪器设计、精密机械制造工艺学、精密测量与控制、金工实习、电工电子实习、测试与检测实习、精密机械课程设计、毕业实习（设计）等，以及各校的主要特色课程和实践环节。 皮 米 精 度 位 移 传 感 器。

扩散型半导体应变片

这种应变片是将 P型杂质扩散到一个高电阻N型硅基底上，形成一层极薄的P型导电层，然后用超声波或热压焊法焊接引线而制成（图2）。它的优点是稳定性好，机械滞后和蠕变小，电阻温度系数也比一般体型半导体应变片小一个数量级。缺点是由于存在P-N结，当温度升高时，绝缘电阻大为下降。半导体应变片是将单晶硅锭切片、研磨、腐蚀压焊引线，结尾粘贴在锌酚醛树脂或聚酰亚胺的衬底上制成的。是一种利用半导体单晶硅的压阻效应制成的一种敏感元件。新型固态压阻式传感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用扩散法制成的。 用于齿轮箱和驱动动力传动系的机械负载测试的运动跟踪。平台校准激光干涉仪位移

当干扰信号不敏感时，调制信号的幅度对位移敏感。纳米精度激光干涉仪多层厚度测量

穿心式电流互感器其本身结构不设一次绕组，载流（负荷电流）导线由L1至L2穿过由硅钢片擀卷制成的圆形（或其他形状）铁心起一次绕组作用。二次绕组直接均匀地缠绕在圆形铁心上，与仪表、继电器、变送器等电流线圈的二次负荷串联形成闭合回路，由于穿心式电流互感器不设一次绕组，其变比根据一次绕组穿过互感器铁心中的匝数确定，穿心匝数越多，变比越小；反之，穿心匝数越少，变比越大，额定电流比I1/n：式中I1——穿心一匝时一次额定电流；n——穿心匝数。纳米精度激光干涉仪多层厚度测量

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