TS-150支撑面测试:尽管这些系统几乎可以在任何支撑面上运行,但采用软支撑结构共振放大某些建筑物的振动频率,因此这些振动频率会降低隔离的。您可以通过观察诊断信号来了解支持结构的适用性同时推动支持。此测试应禁用隔离。如果支撑是刚性的信号几乎不应响应任何方向对支撑的推动。现在尝试点击支持激发其内部共鸣。通常,支架会对水平隆头产生更强烈的反应而不是垂直的。一个非常共振的支撑将显示长寿命的共振,并且隔离将在这些频率上受到严重影响。更好的支撑将显示出良好的阻尼共振。简单,用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。联电隔振台干涉测量应用

TS-140+40TS-140+40结合了久经考验的技术特点与优雅且用户友好的设计这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。在公制(M6x25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。TS-140+40结合了久经考验的技术卓悦性与优雅且用户友好的设计TS-140+40的隔离始于0.7Hz,超过10Hz后迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS140+40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好,实用的操作优势是创新建筑理念的结果TS-140+40的高度瑾84毫米TS140+40的重量瑾为28.5千克台积电隔振台国内用户AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式。

LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度,直至频率为约0.2Hz传感器直接放置在地板上,并用于前馈回路中与标准AVI/LP系统结合使用,可在非常低的情况下提高隔振效果频率。LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI/LP上测得的水平隔离度(透射率)有和没有LFS的系统。将传感器连接到AVI/系统?传感器LFS-2具有单独的电源,该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。用D-Sub25将电源连接到传感器电缆。每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的LFS的实际位置并不重要,但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub15插座连接到传感器。
AVI200-MAVI200-M的隔离始于1,2Hz,超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI200-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI200-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI200-M隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单,友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程技术指标:频率:1,2-200Hz负载范围:0-400公斤(单个):200公斤如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。HERZ在被动式隔振系统产品之外,补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。

使用AVI系统时,系统只能插入单独接地的插座。无论是在插座处,还是使用未接地的延长电缆,都不要断开此接地。如果您怀疑系统以任何方式不安全,请拔下插头并防止任何可能的意外使用。联系蕞近的服务中心。在打开此设备之前,请确保它连接到正确的电源电压。不要取下任何盖子或让任何金属物体进入通风槽。在取下任何盖子之前,断开电源。请向合格人员咨询服务。不要在可能报炸的环境中使用。保险丝位于控制单元后侧的电源插座中。未先拔下电源线,不要试图更换保险丝。只能更换类型正确的保险丝。不要试图绕过保险丝。确保控制单元中的通风缝没有被覆盖,并且空气可以自由循环。堵塞狭缝可能导致过热,从而引发火灾。对于控制单元和隔离元件之间的连接,瑾使用提供的D-Sub 15电缆(m/f)。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。福建晶圆隔振台
Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有独力的防振单元和控制器。联电隔振台干涉测量应用
传感器位置传感器可以移动到任何期望的位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元素的同一表面上。制作后连接时,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。支撑面的刚性支撑表面的刚性很重要。水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。LFS和因此,AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬,以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。运作方式设置好并将电源连接到传感器后,就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。绿色LED将点亮。红色LED开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在,您可以通过按启用按钮来启用系统。红色LED不应点亮了。如果它们点亮,则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。请注意,如果未启用LFS,则它将无效。敏感的传感器单元,请勿撞击,敲打或跌落!联电隔振台干涉测量应用
岱美仪器技术服务(上海)有限公司目前已成为一家集产品研发、生产、销售相结合的贸易型企业。公司成立于2002-02-07,自成立以来一直秉承自我研发与技术引进相结合的科技发展战略。公司具有半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等多种产品,根据客户不同的需求,提供不同类型的产品。公司拥有一批热情敬业、经验丰富的服务团队,为客户提供服务。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi集中了一批经验丰富的技术及管理专业人才,能为客户提供良好的售前、售中及售后服务,并能根据用户需求,定制产品和配套整体解决方案。岱美仪器技术服务(上海)有限公司本着先做人,后做事,诚信为本的态度,立志于为客户提供半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪行业解决方案,节省客户成本。欢迎新老客户来电咨询。