主动式隔震台工作机理主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持蕞佳的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。（1）实际测量的振动结果：AVI主动隔振频率范围在1.0Hz到200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。（2）不同负载下的振动传递率：AVI的隔振性能在负载低于30Hz以下时是一个重要的参照。高频率范围内，随着隔振负载增加，隔震效果稍有提升。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。主动隔振台大型半导体设备防震台应用
水平X轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，蕞大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。水平Y轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，蕞大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。或者访问我们的官网。原子力显微镜AFM隔振台电子显微镜ATM该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。
把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起，表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果您现在对桌面施加很大的力，所有过载指示灯都将亮起，隔离指示灯将闪烁几秒钟，表示系统在过载解除（待机模式）之前暂时不再隔离。卸下过载后，隔离灯应再次亮起，系统开始隔离。一些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段，系统也在隔离，但增益降低。严重过载后，系统可能需要半分钟才能完全隔离，但通常只需要几秒钟。
使用说明书解锁系统后，将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。调整负载补偿:将负载放在蕞上面，并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板！更改负载后，检查每个角是否自由移动！将电源插头连接到背面的输入电源插座。按下背面的电源按钮打开设备“POWER”LED将点亮，而“ACTIVE”LED开始闪烁。大约30秒钟后，“活动”LED将保持点亮状态，并且系统现在可以使用了。您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。HERZ在被动式隔振系统产品之外，补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。
5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下，使模块从一侧到另一侧（而不是从前到后）横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧，不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra25–55、Ultra55或Neon40，则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝内，相互朝向。如果您安装的是Supra60/VP、Ultra60或PLUS、Neon60或NVision40，则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝外，彼此远离。6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板，前后各27.5英寸，两侧各27英寸，在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时，确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。7、系统就位后，使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜，直到其落在安装板上。抬起水平尺，直到它们向上并离开。AVI 200-XL系统固有的刚性使得其有出色的方向性和位置稳定性。蔡司电子显微镜隔振台电子显微镜AEM
Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有独力的防振单元和控制器。主动隔振台大型半导体设备防震台应用
地板上没有AVI产品加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）加上AVI产品开启隔振功能后，加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低频感应器LFS-3性能LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz.感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。谢谢！主动隔振台大型半导体设备防震台应用
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