LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度，直至频率为约0.2Hz传感器直接放置在地板上，并用于前馈回路中与标准AVI/LP系统结合使用，可在非常低的情况下提高隔振效果频率。LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI/LP上测得的水平隔离度（透射率）有和没有LFS的系统。将传感器连接到AVI/系统？传感器LFS-2具有单独的电源，该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。用D-Sub25将电源连接到传感器电缆。每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的LFS的实际位置并不重要，但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub15插座连接到传感器。必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到蕞佳成果。北京晶圆片隔振台
该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍，可提供出色的方向和位置稳定性。有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振，这种共振困扰着所有无源隔离系统。该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度，在该频率下，许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。所有控制电路都内置在该单元钟。功耗小于2.5W。该设备具有通用输入，可以连接到100至240VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜（AFM，STM），干涉仪和其他高分辨率仪器，从而使这些仪器能够达到蕞终的性能。事实证明，该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。半导体设备隔振台应用测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持蕞佳的隔振状态。
隔振台TS-140+40的技术指标：
频率负载范围尺寸:0,7-1000Hz 50-180公斤500x600x84毫米
隔离：动态（超过1kHz）
传递率：参见附件曲线10Hz以上的透射率<（-40dB）
矫正力：垂直+/-8N水平+/-4N
静态合规性：垂直约12µm/N水平30-40µm/N
最大负载：50-180公斤尺寸：500x600x84毫米
重量：在公制（M6x25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。
如果您有任何需要了解的，请随时联系我们岱美仪器技术服务有限公司。记得访问官网。
地板上没有AVI产品加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）加上AVI产品开启隔振功能后，加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低频感应器LFS-3性能LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz.感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。谢谢！该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。
主动式隔震台工作机理主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持蕞佳的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。（1）实际测量的振动结果：AVI主动隔振频率范围在1.0Hz到200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。（2）不同负载下的振动传递率：AVI的隔振性能在负载低于30Hz以下时是一个重要的参照。高频率范围内，随着隔振负载增加，隔震效果稍有提升。AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式。北京晶圆片隔振台
Herz授权岱美仪器代理其生产的隔振台含AVI和TS系列。北京晶圆片隔振台
AVI400-SAVI400-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元，最大负载为800公斤。通过增加紧凑型模块的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-S适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI400-S的隔离始于1,2Hz，超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI400-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI400-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI400-S紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。技术指标：频率：1,2-200Hz负载范围：0-800公斤（单个）：400公斤北京晶圆片隔振台
岱美仪器技术服务（上海）有限公司位于金高路2216弄35号6幢306-308室，交通便利，环境优美，是一家贸易型企业。公司致力于为客户提供安全、质量有保证的良好产品及服务，是一家其他有限责任公司企业。以满足顾客要求为己任；以顾客永远满意为标准；以保持行业优先为目标，提供***的半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪。岱美中国以创造***产品及服务的理念，打造高指标的服务，引导行业的发展。
