利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何干涉仪路程或介质折射率的变化引起,所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量,从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度,干涉条纹每移动一个条纹间距,光程差就改变一个波长(~10-7米)。所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的,其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。在2000转/分时,电动机产生270Hz的振动,反过来 以345Hz放大系统谐振。珠海平台校准激光干涉仪
用连续空间函数来运算的光的波动理论,在描述纯悴的光学现象时,已被证明是十分潜能的,似乎很难用任何别的理论来替换。可是,不应当忘记,光学观测都同时间平均值有关,而不是同瞬时值有关,而且尽管衍射、反射、折射、色散等等理论完全为实验所证实,但仍可以设想,当人们把用连续空间函数进行运算的光的理论应用到光的产生和转化的现象上去时,这个理论会导致和经验相矛盾。关于黑体辐射,光致发光、紫外光产生阴极射线,以及其他一些有关光的产生和转化的现象的观察,如果用光的能量在空间中不是连续分布的这种假说来解释.似乎就更好理解。按照这里所设想的假设,从点光源发射出来的光束的能量在传播中不是连续分布在越来越大的空间之中,而是由个数有限的、局限在空间各点的能量子所组成,这些能量子能够运动,但不能再分割,而只能整个地被吸收或产生出来。北京激光干涉仪多层厚度不稳定的偏航和俯仰测量。
多抽头电流互感器。这种型号的电流互感器,一次绕组不变,在绕制二次绕组时,增加几个抽头,以获得多个不同变比。它具有一个铁心和一个匝数固定的一次绕组,其二次绕组用绝缘铜线绕在套装于铁心上的绝缘筒上,将不同变比的二次绕组抽头引出,接在接线端子座上,每个抽头设置各自的接线端子,这样就形成了多个变比,此种电流互感器的优点是可以根据负荷电流变比,调换二次接线端子的接线来改变变比,而不需要更换电流互感器,给使用提供了方便。
高精度。目前半导体工艺的典型线宽为0.25μm,并正向0.18μm过渡,2009年的预测线宽是0.07μm。如果定位要求占线宽的1/3,那么就要求10nm量级的精度,而且晶片尺寸还在增大,达到300mm。这就意味着测量定位系统的精度要优于3×10的-8次方,相应的激光稳频精度应该是10的-9次方数量级。
高速度。目前加工机械的速度已经提高到1m/sec以上,上世纪80年代以前开发研制的仪器已不适应市场的需求。例如惠普公司的干涉仪市场大部分被英国Renishaw所占领,其原因是后者的速度达到了1m/sec。 Beamline Fac。需要具有<100nrad RMS机械指向稳定性的镜架。
干涉仪技术参数:5D/6D标准型:1.线性:0.5ppm.2.测量范围:40米(1D可选80米)3.线性分辨力:0.001um.4.偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值5.比较大范围:800角秒6.滚动角精度:1.0角秒7.直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值8.直线度比较大范围:500um9.垂直度精度:1角秒10.温度精度:0.2摄氏度11.湿度精度:5%12.压力精度:1mmHg
从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。 电机振动的非接触频率分析。纳米精度激光干涉仪位移
角度和迴转测量,检测轴承间隙。珠海平台校准激光干涉仪
光束里的光子所拥有的能量与光的频率成正比。假若金属里的自由电子吸收了一个光子的能量,而这能量大于或等于某个与金属相关的能量阈(阀)值(称为这种金属的逸出功),则此电子因为拥有了足够的能量,会从金属中逃逸出来,成为光电子;若能量不足,则电子会释出能量,能量重新成为光子离开,电子能量恢复到吸收之前,无法逃逸离开金属。增加光束的辐照度会增加光束里光子的“密度”,在同一段时间内激发更多的电子,但不会使得每一个受激发的电子因吸收更多的光子而获得更多的能量。换言之,光电子的能量与辐照度无关,只与光子的能量、频率有关。珠海平台校准激光干涉仪