技术指标:频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米隔离:动态(超过1kHz)透射率:参见附件曲线10Hz以上的透射率<(-40dB)矫正力:垂直+/-8N水平+/-4N静态合规性:大约垂直约12µm/N水平30-40µm/N最大负载:140公斤尺寸:500x600x84毫米重量:28.5kg电的安全等级:1个能量消耗:蕞大10W负载调整时20W输入电压:115-230VAC+/-10%50-60Hz超载:显示屏指示负载过重或严重失衡监控信号:示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-瑾用于诊断目的前面板显示菜单:显示仪器状态,包括:-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线桌上尺寸:500x600毫米。安装好后参数不需要调整。桌面式主动隔振台隔振台服务为先

1.更换SEM侧面板(如有必要)。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。2.将电源线插入控制器背面。翻转前面板上的“ON”开关。按红色按钮启用活动隔离。3.几秒钟后,使能LED指示灯将变稳定,指示系统已正确隔离。轻轻敲击SEM时,控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。4.如果一个或多个指示灯持续亮起,或者在正常情况下指示灯不熄灭,或者如果点击不亮,则表明传感器过载。请仔细检查以下内容:没有任何东西触及模块,连接模块和SEM的所有电缆均松弛,并且已针对负载适当调整了模块。TS-150/LP隔振台实际价格传感器可以移动到任何所需位置。

1、使用2mm内六角扳手(包括在内)拆下模块端板。2、根据扫描电镜的重量调整模块。在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙,允许每侧大约有2mm的行程。B、使用M6活动扳手(包括)转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙(在中间止动螺母和横撑之间)。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。C、计算每个螺母的圈数;尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。D、不要转动螺母太远,否则可能损坏系统。在任何情况下,外露螺纹不得超过10mm3.装回模块上的端板
传感器LFS-3有一个单独的电源,通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。用D-Sub25电缆将电源连接到传感器。每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要,但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座(诊断插座)连接到传感器设置并将电源连接到传感器后,系统即可使用。按下电源上的电源旋钮,打开电源。绿色的LED将亮起。红色的发光二极管开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在您可以通过按下启用按钮来启用系统。红色的发光二极管不应该再亮了。如果它们亮了,那意味着系统超载,建筑物内的振动太严重。AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,蕞大负载为800公斤。

AVI-400系列(负载:蕞多800kg)型号:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP系统形状:控制器与防振单元分离型主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态尺寸:190×396×190×720×220×856×控制器尺寸:241×287×142毫米承重*800kg单位重量:约13kg;约19公斤,联络我们电源电压:95-240VAC,50-60赫兹耗电量:通常为18W工作温度范围:5℃〜40℃工作湿度范围10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。HERZAN隔振台可以试用吗
Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有独力的防振单元和控制器。桌面式主动隔振台隔振台服务为先
AVI400-MAVI400-M的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。
为了使AVI400-M适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI400-M的隔离始于1,2Hz,超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI400-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI400-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。
技术指标:频率:1.2-200Hz负载范围:0-800公斤(单件):400公斤 桌面式主动隔振台隔振台服务为先
岱美仪器技术服务(上海)有限公司坐落在金高路2216弄35号6幢306-308室,是一家专业的磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 公司。公司目前拥有专业的技术员工,为员工提供广阔的发展平台与成长空间,为客户提供高质的产品服务,深受员工与客户好评。公司以诚信为本,业务领域涵盖半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,我们本着对客户负责,对员工负责,更是对公司发展负责的态度,争取做到让每位客户满意。公司深耕半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,正积蓄着更大的能量,向更广阔的空间、更宽泛的领域拓展。