通常所说的扫描电镜像指的就是二次电子像,它是研究样品表面形貌的有用的电子信号。检测二次电子的检测器(2)的探头是一个闪烁体,当电子打到闪烁体上时,1就在其中产生光,这种光被光导管传送到光电倍增管,光信号即被转变成电流信号,再经前置放大及视频放大,电流信号转变成电压信号,后被送到显像管的栅极。电子信号的显示与记录系统。扫描电镜的图象显示在阴极射线管(显像管)上,并由照相机拍照记录。显像管有两个,一个用来观察,分辨率较低,是长余辉的管子;另一个用来照相记录,分辨率较高,是短余辉的管子。真空系统及电源系统。扫描电镜的真空系统由机械泵与油扩散泵组成,其作用是使镜筒内达到10(4~10(5托的真空度。电源系统供给各部件所需的特定的电源。电子显微镜(SEM)可获得较分辨率的透射电子像。广东桌面型电镜电子显微镜
若扫描电镜采用30cm(12英寸)的显象管,放大倍数15倍时,其视场范围可达20mm。大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域是很必要的,如刑事侦察和考古。进行从高倍到低倍的连续观察。放大倍数的可变范围很宽,且不用经常对焦。扫描电子显微镜的放大倍数范围很宽(从5到20万倍连续可调),且一次聚焦好后即可从高倍到低倍,从低倍到高倍连续观察,不用重新聚焦,这对进行事故分析特别方便。观察生物试样。因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。同其他方式的电子显微镜比较,因为观察时所用的电子探针电流小(一般约为10-10~10-12A)电子探针的束斑尺寸小(通常是5nm到几十纳米),电子探针的能量也比较小(加速电压可以小到2kV),而且不是固定一点照射试样,而是以光栅状扫描方式照射试样,因此,由于电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小,这一点对观察一些生物试样特别重要。河南台式电镜电子显微镜早期作为商品出现的是1965年英国剑桥仪器公司生产的一台SEM,它用二次电子成像,分辨率达25nm。
直接观察大试样的原始表面。它能够直接观察直径100mm,高50mm,或更大尺寸的试样,对试样的形状没有任何限制,粗糙的表面也能观察,这便免除了制备样品的麻烦,而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度(背反射电子象)。观察厚试样。其在观察厚试样时,能得到高的分辨率和真实的形貌。扫描电子显微的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间。但在对厚块试样的观察进行比较时,因为在透射电子显微镜中还要采用复膜方法,而复膜的分辨率通常只能达到10nm,且观察的不是试样本身,因此,用扫描电子显微镜观察厚块试样更有利,更能得到真实的试样表面资料。
1932年,Knoll提出了SEM可成像放大的概念,并在1935年制成了极其原始的模型。1938年,德国的阿登纳制成了一台采用缩小透镜用于透射样品的SEM。由于不能获得分辨率的样品表面电子像,SEM一直得不到发展,只能在电子探针X射线微分析仪中作为一种辅助的成像装置。此后,在许多科学家的努力下,解决了SEM从理论到仪器结构等方面的一系列问题。早期作为商品出现的是1965年英国剑桥仪器公司生产的一台SEM,它用二次电子成像,分辨率达25nm,使SEM进人了实用阶段。电子显微镜因为X射线的信号激发深度深于电子束,利用该设备还可以检测更深层次样品的信息。
扫描电子显微镜(scanningelectronmicroscope,SEM)于20世纪60年代问世,用来观察标本的表面结构。其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度,显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象,反映了标本的表面结构。为了使标本表面发射出次级电子,标本在固定、脱水后,要喷涂上一层重金属微粒,重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。电子显微镜(SEM)通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息。广东桌面型电镜电子显微镜
电子显微镜有助于对多次回收利用的粉末进行分析和追踪。广东桌面型电镜电子显微镜
扫描电子显微镜是一种多功能的仪器,具有很多优越的性能,是用途为普遍的一种仪器,它可以进行如下基本分析:(1)三维形貌的观察和分析;(2)在观察形貌的同时,进行微区的成分分析。①观察纳米材料。所谓纳米材料就是指组成材料的颗粒或微晶尺寸在0.1~100nm范围内,在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。纳米材料具有许多与晶态、非晶态不同的、独特的物理化学性质。纳米材料有着广阔的发展前景,将成为未来材料研究的重点方向。扫描电子显微镜的一个重要特点就是具有很高的分辨率,现已普遍用于观察纳米材料。广东桌面型电镜电子显微镜
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