双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、 三坐标测量机、光刻机和 加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,还可进行高精度 直线度测量、平面度测量和小角度测量。
激光干涉仪应用 (1)几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度、球面测量、曲率半径测量、角锥角度、光学材质均匀性测量等 现场高效球面检测干涉仪是一种高性能模块化组合检测干涉仪。苏州无应力激光干涉仪代理品牌
激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。 激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备,由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场,随即受到了相关行业特别是机床制造业的重视,其主要在:线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。 随着激光干涉仪测量技术的不断提高,测量软件的不断开发其测量范围越来越***,特别是在测量数控机床位置精度方面用途**为***。 激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉。苏州无应力激光干涉仪代理品牌激光干涉仪有: 无应力平面检测干涉仪, 无应力平面检测干涉仪,现场高效球面检测干涉仪。
激光干涉仪小科普:经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。
干涉仪是很***的一类实验技术的总称, 其思想在于利用波的叠加性来获取波的相位信息, 从而获得实验所关心的物理量。干涉仪并不仅*局限于光干涉仪。 干涉仪在天文学 (Thompson et al, 2001) [1] , 光学, 工程测量, 海洋学, 地震学, 波谱分析, 量子物理实验, 遥感, 雷达等等精密测量领域都有广泛应用(Hariharan, 2007)
具有固定相位差的两列准单色波的叠加将导致振幅发生变化, 从而可以通过测量较容易测量的振幅来获取波的相位信息
干涉仪可以分为单路径干涉仪和多路径干涉仪两类, 其差异在于干涉的波是否通过同一路径传播。 例如迈克尔逊干涉仪就是常见的多路径干涉仪, 而Sagnac干涉仪, 等倾干涉和等厚干涉等即为单路径干涉仪 激光干涉仪测试原理:斐索干涉原理。
为什么要用双频激光干涉仪?单频激光干涉仪是一种直流测量系统,存在较大的零漂;同时由于空气湍流,机床油雾,切削屑等会使光束发生偏移或波面扭曲,导致激光束强度发生变化,就有可能使光电信号低于计数器的触发电平而使计数器停止计数。双频激光干涉仪的信号时交流信号,因而对于双频激光干涉仪来说,可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大,这样,即使光强衰减90%,依然可以得到合适的电信号。双频激光干涉仪可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等,也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定。应用领域:大平板显示(平面检测)。大连平行度激光干涉仪应用范围
应用领域:半导体工业(晶片检测)。苏州无应力激光干涉仪代理品牌
激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式:式中λ为激光波长(N为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。苏州无应力激光干涉仪代理品牌