17世纪，意大利物理学家托里拆利揭示了“真空”的存在。真空是指在给定空间内，气体压强低于一个大气压的气体状态。完全没有任何气体的状态叫理想真空，一般我们所说的真空是指相对真空，即能达到的更低压强下，每立方米气体中仍然有少数气体分子存在。在真空技术中，一般用“真空度”和“压强”来表示真空程度，某空间的压强越低则说明真空度越高，压强越高表示真空度越低。根据各压强范围内不同的物理特点，把真空一般划分为粗真空、低真空、高真空和超高真空几个区域。真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。福建油封螺杆式真空泵销售厂家
半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压。半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体，因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。江西精密真空泵设备一个典型的半导体工厂里就需要3种真空，需要不同的真空泵，对于工艺真空应用，油封螺杆真空泵是适用的。
昊青气体装备的EVS油封螺杆式真空泵，采用低噪音的真空技术，其两个螺杆组件低速旋转，这样EVS便可以在低声级上运行。这种静音式运行，允许您将EVS安装在使用点的附近。同时，该机型性能可靠。可靠性是EVS真空系统的一个关键特征。所采用的技术没有接触，所以也无磨损。作为一项附加优点，油封技术带来强大的无故障运行。除了这项先进的技术之外，EVS还配备了可靠的特大号电机，和专业的油气分离系统。前列的凝聚过滤器减少了环境中的油雾量，从而减少额外的加油量，降低运行温度和发动机的功耗。EVS油封螺杆式真空泵拥有更好的效率，由于每千瓦输入均能有更好的性能输出，EVS在其工作压力范围上的表现超过所有其他的真空技术。并且能按照需求配置能力：模块化阀门直接安装到泵的进口上。同时还能即插即用型安装。结构上，它设计紧凑，节省空间。由于需要更少的维护，正常运行时间更长。
昊青气体装备的油封螺杆式真空泵，采用变频驱动系统，VCS矢量变频驱动，配合永磁同步电机，变频启动，快速大范围动态响应，也能在目标工况精确控制。系统采用工业领域定制的变频器，效率高、稳定可靠。EB-1智能控制系统，可编程智能工业控制器，具有上电自检、运行逻辑控制、运行监测、故障报警、维保提示等一系列功能；6"彩色触摸屏，界面美观友好，操作简单方便；提供RS485接口，原生支持modbus协议，支持上位机联控和多机直接联控；内置物联网模块，支持物联网，可远程通过PC和移动端进行监控。在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域，螺杆式真空泵备受青睐。
当抽吸腐蚀性过程气体时，存在气体可能破坏泵部件的风险。为了避免这个危险，敏感部件必须用连续的惰性气体流保护起来。因此，泵体内装有特殊的进气系统，凭借该系统，气体在规定的位置流入泵系统。在涡轮分子泵中，主要是轴承和电机舱需要保护。在电机舱中吸入密封气体能够避免侵蚀性气体与润滑剂或轴承中的腐蚀敏感成分发生化学反应以及防止灰尘和粒子进入润滑剂存储罐、与润滑剂混合。使用密封气体可以保护电机及防止粒子进入和导致轴与紧急轴承接触，也建议免润滑的涡轮分子泵使用除轴承密封气体外，具有过程能力的干式前级泵也具有净化气体注入流程泵的各个抽吸阶段。过程有关的净化气体流量使用校准喷头上游的压力调节器或流量调节器（质量流量控制器或 MFC）进行调节，以及通过压力传感器和开关进行监控。印刷行业中的印刷设备、装订设备都需要真空，纸张的输送，折页，装订整理都要用到真空。河北变频真空泵案例
然后将工件放入真空室，由真空泵抽出蒸汽和空气，再让浸渍剂从容器进入真空室。福建油封螺杆式真空泵销售厂家
昊青气体装备总结出真空泵电机温度高的解决方案。电机功率、转速是和真空泵相匹配的，无法更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加。方法如下：1)、将原风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，电压380V。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制，轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却；2)定期清理电机上灰尘，保持电机散热片清洁，增加其散热能力；3)将真空泵所在母线电压调整为400V。福建油封螺杆式真空泵销售厂家
昊青气体装备技术（江苏）有限公司办公设施齐全，办公环境优越，为员工打造良好的办公环境。在昊青气体装备近多年发展历史，公司旗下现有品牌昊青气体装备等。公司以用心服务为重点价值，希望通过我们的专业水平和不懈努力，将真空设备及配件、鼓风机、压缩机、流体设备及配件、自动化设备及配件、智能设备及配件的研发、设计、制造、销售、安装、租赁及技术咨询；合同能源管理；节能科技领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务；货物及技术的进出口业务。等业务进行到底。昊青气体装备技术（江苏）有限公司主营业务涵盖真空泵，鼓风机，压缩机，坚持“质量保证、良好服务、顾客满意”的质量方针，赢得广大客户的支持和信赖。
