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电子显微镜基本参数
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在大视场、低放大倍数下观察样品。用扫描电子显微镜观察试样的视场大。在扫描电子显微镜中,能同时观察试样的视场范围F由下式来确定:F=L/M。观察试样的各个区域的细节。试样在样品室中可动的范围非常大。其他方式显微镜的工作距离通常只有2~3cm,故实际上只许可试样在两度空间内运动。但在扫描电子显微镜中则不同,由于工作距离大(可大于20mm),焦深大(比透射电子显微镜大10倍),样品室的空间也大,因此,可以让试样在三度空间内有6个自由度运动(即三度空间平移,三度空间旋转),且可动范围大,这对观察不规则形状试样的各个区域细节带来极大的方便。电子显微镜(SEM)成像直观、立体感强、放大倍数范围宽。天津桌面型电子显微镜电子显微镜售价

在光学显微镜下无法看清小于0.2µm的细微结构,这些结构称为亚显微结构(submicroscopicstructures)或超微结构(ultramicroscopicstructures;ultrastructures)。要想看清这些结构,就必须选择波长更短的光源,以提高显微镜的分辨率。1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜(transmissionelectronmicroscope,TEM),电子束的波长要比可见光和紫外光短得多,并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比,也就是说电压越高波长越短。目前TEM的分辨力可达0.2nm。西藏扫描式电子显微镜公司电子显微镜(SEM)几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。

光学显微镜以可见光为介质,电子显微镜以电子束为介质,由于电子束波长远较可见光小,故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率高只有约1500倍,扫描式显微镜可放大到10000倍以上。根据deBroglie波动理论,电子的波长只与加速电压有关:λe=h/mv=h/(2qmV)1/2=12.2/(V)1/2(Å在10KV的加速电压之下,电子的波长只为0.12Å,远低于可见光的4000-7000Å,所以电子显微镜分辨率自然比光学显微镜优越许多,但是扫描式电子显微镜的电子束直径大多在50-100Å之间,电子与原子核的弹性散射(ElasticScattering)与非弹性散射(InelasticScattering)的反应体积又会比原有的电子束直径增大,因此一般穿透式电子显微镜的分辨率比扫描式电子显微镜高。

扫描电子显微镜(scanningelectronmicroscope,SEM)于20世纪60年代问世,用来观察标本的表面结构。其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度,显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象,反映了标本的表面结构。为了使标本表面发射出次级电子,标本在固定、脱水后,要喷涂上一层重金属微粒,重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。电子显微镜因为X射线的信号激发深度深于电子束,利用该设备还可以检测更深层次样品的信息。

扫描式电子显微镜,其系统设计由上而下,由电子头(ElectronGun)发射电子束,经过一组磁透镜聚焦(CondenserLens)聚焦后,用遮蔽孔径(CondenserAperture)选择电子束的尺寸(BeamSize)后,通过一组控制电子束的扫描线圈,再透过物镜(ObjectiveLens)聚焦,打在样品上,在样品的上侧装有讯号接收,用以择取二次电子(SecondaryElectron)或背向散射电子(BackscatteredElectron)成像。 扫描式显微镜有一重要特色是具有超大的景深(depthoffield),约为光学显微镜的300倍,使得扫描式显微镜比光学显微镜更适合观察表面起伏程度较大的样品。由于不能获得分辨率的样品表面电子像,SEM一直得不到发展。西藏扫描式电子显微镜公司

扫描电子显微镜已被普遍应用于生命科学、物理学、化学、司法、地球科学、材料学以及工业生产等领域。天津桌面型电子显微镜电子显微镜售价

在扫描电子显微镜中,成象的信息主要是电子信息。根据近代的电子工业技术水平,即使高速变化的电子信息,也能毫不困难的及时接收、处理和储存,故可进行一些动态过程的观察。如果在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件,则可以通过电视装置,观察相变、断裂等动态的变化过程。10从试样表面形貌获得多方面资料。在扫描电子显微镜中,不止可以利用入射电子和试样相互作用产生各种信息来成象,而且可以通过信号处理方法,获得多种图象的特殊显示方法,还可以从试样的表面形貌获得多方面资料。因为扫描电子象不是同时记录的,它是分解为近百万个逐次依此记录构成的,因而使得扫描电子显微镜除了观察表面形貌外,还能进行成分和元素的分析,以及通过电子通道花样进行结晶学分析,选区尺寸可以从10μm到2μm。进行动态观察。天津桌面型电子显微镜电子显微镜售价

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