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电子显微镜基本参数
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电子显微镜企业商机

SEM样品制备一般原则为:A.显露出所欲分析的位置。B.表面导电性良好,需能排除电荷。C.不得有松动的粉末或碎屑(以避免抽真空时粉末飞扬污染镜柱体)。D.需耐热,不得有熔融蒸发的现象。E.不能含液状或胶状物质,以免挥发。F.非导体表面需镀金(影像观察)或镀碳(成份分析)。镀导电膜的选择,在放大倍率低于1000倍时,可以镀一层较厚的Au,以提高导电度。放大倍率低于10000倍时,可以镀一层Au来增加导电度。放大倍率低于100000倍时,可以镀一层Pt或Au-Pd合金,在超过100000时,以镀一层超薄的Pt或Cr膜较佳。电子显微镜其局限在于你很难对样品的所有区域进行分析。桌面型电子显微镜电子显微镜

光学显微镜以可见光为介质,电子显微镜以电子束为介质,由于电子束波长远较可见光小,故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率高只有约1500倍,扫描式显微镜可放大到10000倍以上。根据deBroglie波动理论,电子的波长只与加速电压有关:λe=h/mv=h/(2qmV)1/2=12.2/(V)1/2(Å在10KV的加速电压之下,电子的波长只为0.12Å,远低于可见光的4000-7000Å,所以电子显微镜分辨率自然比光学显微镜优越许多,但是扫描式电子显微镜的电子束直径大多在50-100Å之间,电子与原子核的弹性散射(ElasticScattering)与非弹性散射(InelasticScattering)的反应体积又会比原有的电子束直径增大,因此一般穿透式电子显微镜的分辨率比扫描式电子显微镜高。桌面型电子显微镜电子显微镜扫描电镜测试是一种常规的微纳米材料表征手段。

扫描电子显微镜的另一个重要特点是景深大,图象富有立体感。进行材料断口的分析。扫描电子显微镜的焦深比透射电子显微镜大10倍,比光学显微镜大几百倍。由于图象景深大,故所得扫描电子象富有立体感,具有三维形态,能够提供比其他显微镜多得多的信息,这个特点对使用者很有价值。扫描电子显微镜所显示的断口形貌从深层次、高景深的角度呈现材料断裂的本质,在教学、科研和生产中,有不可替代的作用,在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。

直接观察大试样的原始表面。它能够直接观察直径100mm,高50mm,或更大尺寸的试样,对试样的形状没有任何限制,粗糙的表面也能观察,这便免除了制备样品的麻烦,而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度(背反射电子象)。观察厚试样。其在观察厚试样时,能得到高的分辨率和真实的形貌。扫描电子显微的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间。但在对厚块试样的观察进行比较时,因为在透射电子显微镜中还要采用复膜方法,而复膜的分辨率通常只能达到10nm,且观察的不是试样本身,因此,用扫描电子显微镜观察厚块试样更有利,更能得到真实的试样表面资料。电子显微镜有助于对多次回收利用的粉末进行分析和追踪。

扫描电子显微镜(scanningelectronmicroscope,SEM)于20世纪60年代问世,用来观察标本的表面结构。其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度,显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象,反映了标本的表面结构。为了使标本表面发射出次级电子,标本在固定、脱水后,要喷涂上一层重金属微粒,重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。SEM是一款高度灵活的扫描电子显微镜(SEM)。四川钨灯丝扫描电子显微镜

1932年,Knoll提出了SEM可成像放大的概念,并在1935年制成了极其原始的模型。桌面型电子显微镜电子显微镜

在光学显微镜下无法看清小于0.2µm的细微结构,这些结构称为亚显微结构(submicroscopicstructures)或超微结构(ultramicroscopicstructures;ultrastructures)。要想看清这些结构,就必须选择波长更短的光源,以提高显微镜的分辨率。1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜(transmissionelectronmicroscope,TEM),电子束的波长要比可见光和紫外光短得多,并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比,也就是说电压越高波长越短。目前TEM的分辨力可达0.2nm。桌面型电子显微镜电子显微镜

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