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电子显微镜基本参数
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扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀,但由于其本身具有许多独特的优点,发展速度是很快的。仪器分辨率较高,通过二次电子象能够观察试样表面6nm左右的细节,采用LaB6电子头,可以进一步提高到3nm。仪器放大倍数变化范围大,且能连续可调。因此可以根据需要选择大小不同的视场进行观察,同时在高放大倍数下也可获得一般透射电镜较难达到的高亮度的清晰图像。观察样品的景深大,视场大,图像富有立体感,可直接观察起伏较大的粗糙表面和试样凹凸不平的金属断口象等,使人具有亲临微观世界现场之感。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm。重庆电子显微镜生产商

扫描电子显微镜利用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描,与样品相互作用产行各种物理信号,这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号,后在荧光屏上显示反映样品表面各种特征的图像。扫描电镜具有景深大、图像立体感强、放大倍数范围大、连续可调、分辨率高、样品室空间大且样品制备简单等特点,是进行样品表面研究的有效分析工具。扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多,一般约在1~30kV,实验时可根据被分析样品的性质适当地选择,常用的加速电压约在20kV左右。扫描电镜的图像放大倍数在一定范围内(几十倍到几十万倍)可以实现连续调整,放大倍数等于荧光屏上显示的图像横向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比。扫描电镜的电子光学系统与透射电镜有所不同,其作用只只是为了提供扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。扫描电镜常使用的是二次电子信号和背散射电子信号,前者用于显示表面形貌衬度,后者用于显示原子序数衬度。重庆电子显微镜企业电子显微镜其成像平台即时可用,集成独特的实时定量能谱面分析功能。

当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对x射线的采集,可得到物质化学成分的信息。

扫描电子显微镜(scanningelectronmicroscope,SEM)于20世纪60年代问世,用来观察标本的表面结构。其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品,在样品表面激发出次级电子,次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样品的表面结构有关,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度,显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象,反映了标本的表面结构。为了使标本表面发射出次级电子,标本在固定、脱水后,要喷涂上一层重金属微粒,重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。电子显微镜(SEM)几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。

扫描电子显微镜,简称为扫描电镜,英文缩写SEM(ScanningElectronMicroscope)。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面,通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。SEM已普遍应用于材料、冶金、矿物、生物学领域。通常人眼能够分辨的小距离为0.2MM,为了观察分析更微小的细节,人们发明了各种观察仪器。首先出现的是光学显微镜,它利用可见光作为照明束照射样品,再将照明束与样品的作用结果由成像放大系统处理,构成适合人眼观察的放大像。一般而言光学显微镜能分辨的小距离约为200um,是人眼的一千倍。再厉害的研究者,精力也是有限的,即便在自动化设备的辅助下,我们也只能做到部分指标的高通量测试。重庆电子显微镜企业

扫描电子显微镜类型多样,不同类型的扫描电子显微镜存在性能上的差异。重庆电子显微镜生产商

冷场发射扫描电子显微镜对真空条件要求高,束流不稳定,发射体使用寿命短,需要定时对针尖进行清洗,只局限于单一的图像观察,应用范围有限;而热场发射扫描电子显微镜不止连续工作时间长,还能与多种附件搭配实现综合分析。在地质领域中,我们不止需要对样品进行初步形貌观察,还需要结合分析仪对样品的其它性质进行分析,所以热场发射扫描电子显微镜的应用更为普遍。电子显微镜基本结构:1-镜筒;2-样品室;3-EDS探测器;4-监控器;5-EBSD探测器;6-计算机主机;7-开机/待机/关机按钮;8-底座;9-WDS探测器重庆电子显微镜生产商

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