PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，达到表面钝化和体钝化的目的。 立式真空炉一般由炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统和控温系统等组成。江西箱式炉研究所**
多温区管式炉注意事项：1.多温区管式炉操作注意事项炉子初次使用或长时间不用后，要在120度左右烘炉1小时，在300度左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温不得超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。2.禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保护颅内清洁。3.炉体若采用硅钼棒做加热元件，依据硅钼棒的物理特性，常温下脆性很大，因此在加热元件安装好后不能随意拆装和搬动炉体，4.冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不宜过快，各种温度段的升温速率差别不宜太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉膛，5.定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是良好，应特别注意加热元件的各连接是否紧固。6.硅钼棒作为加热元件时不宜在400-700度温度段长时间运行，否则硅钼棒将发生低温氧化。7.硅钼棒做加热元件时，长时间运行，阻值会逐渐增大，这种现象叫“老化”。 珠海多温区管式炉参考价马弗炉煤质分析用于测定水分、灰分、挥发分、灰熔点分析、灰成分分析、元素分析。--深圳市迪斯普设备。
管式炉由加热炉本体和余热回收系统组成，管式加热炉炉体内设置有烟囱档板，加热炉本体于烟囱档板下方设置有高温烟气出口，余热回收系统包括空气预热器，空气预热器由非冷凝式空气预热器和冷凝式空气预热器两段组成。管式炉外形呈一横置的圆柱体，它安置于由薄钢板制成的底座上。炉壳用薄钢板圈焊而成,工作室为碳化硅或氧化铝耐火材料制成的管形炉膛，炉膛外表面制有螺旋形的单丝槽，铁铬铝合金丝绕于丝槽内。炉膛两端用耐火材料制成的炉圈固定于炉盖上。炉膛与炉壳之间用硅酸铝耐火纤维制品等材料砌筑为保温层。
管式炉的工作原理是：燃料在管式炉的辐射室(极少数在单独的燃烧室)内燃烧，释放出的热量主要通过辐射传热和对流传热传递给炉管，再经过传导传热和对流传热传递给被加热介质，这就是管式炉的工作原理。管式炉炉管内外受哪些腐蚀影响？1）炉管内介质的腐蚀：硫腐蚀、环烷酸腐蚀、氢损伤、氢加硫化氢腐蚀、连多硫酸腐蚀等；2）炉管管外介质腐蚀：高温部位的钒腐蚀和低温部位的露的点腐蚀。管式炉使用须知：烘炉注意事项：a：烘炉通蒸汽时必须先脱水，缓慢进行，防止水击。b：炉膛分别升至150℃、320℃时恒温，目的是脱除吸附水和结晶水。c：烘炉过程中要加强检查，升温要匀速缓慢，严格按烘炉升温曲线进行，发现异常现象立即请示处理。烘炉后的检查：a：检查各部砌砖有无裂缝，耐火衬里有无脱落，钢架、吊挂有无弯曲变形，炉管有无变形，基础有无下沉等。b：如果耐火衬里表面脱落深度超过15mm，或脱落深度达到耐火层厚度的五分之一时，需要进行凿洞修补。c：如果耐火衬里出现大于3mm的皲裂，如何处理由设计单位研究决定。d：炉膛在烘炉前放的砖样进行取样分析水份，低于7％为合格，等待正常开工。管式炉炉型如何选择：炉管价格贵，要求提供炉管的表面利用率，或者是要求减少加热面积。
管式炉炉型如何选择呢？1、设计负荷小于1MW时，应该选择纯辐射型管式炉，并且优先选择纯辐射型圆筒炉。当管式炉炉群共用一个组合余热回收系统，并且需要重整装置加热炉时，就不需要这样做了。2、设计负荷在1~30MW时，要优先选择辐射—对流型的圆筒炉。设计负荷在大于30MW的时候，要通过技术进行经济对比，选择炉膛中间排管的圆筒炉、立式炉、箱式炉或者是其他的炉型。3、炉管价格贵，要求提供炉管的表面利用率，或者是要求减少加热面积，缩短流程的长度，以减少在压降的时候，应该选择单排管双面辐射的炉型。箱式炉为保证炉温，不得随便打开箱式炉炉门，检查炉内情况应从炉门孔中观察。珠海多温区管式炉参考价
马弗炉使用时炉膛温度不能超过较高炉温，也不能在额定温度下长时间工作。江西箱式炉研究所**
管式炉炉膛为一长方形，采用u形硅碳棒两侧加热，共4根，装置运用便利。其两头开有圆孔，便于刚玉炉管穿过炉膛。炉膛资料采用1500型陶瓷纤维,其他保温采用1260陶瓷纤维资料，具有的节能功能和疾速升温功能。管式炉针对实验室的使用要求，装卸料采用间歇式手动装、卸料。装料时将料盒放置在料盆支架上，打开并取出炉管一端的密封端盖，放入带料盒的料盒支架，再将密封端盖安装在炉管法兰上并拧紧卡箍螺栓。然后通人工艺气氛，直到炉管内氧含量达到工艺要求时进行升温烧结。产品烧结工艺完成后，应继续通人小量的工艺气氛并进行降温，直到炉内温度低于工艺要求时，方可打开炉管密封端盖取出产品。江西箱式炉研究所**
