蒸发真空镀膜机的日常维护: 1.例行保养生产设备中发现了一个不好的迹象,立即解决。 2.定期检修,镀膜机有人会问一个日常的维护也需要定期维护?事实上,每个设备都有它自己的生命,提前更换,镀膜机在生产阶段没有问题。只要你把日常维护和定期检修,对设备的使用寿命,在同一时间的延长,生产过程中的失效概率较大减少,提高了生产效率。, 3.不要盲目拆卸。镀膜机问题的真空部分是困难的,而许多公司不泄漏检测器,并将逐步找到。 4.管道泄漏,根据现象判断,然后根据判断发现问题,可以取得事半功倍的效果。 5.养成良好的卫生习惯。镀膜机除尘设备及周边设备,石油设备本身是相当大的。灰尘会产生静电,对电子元器件的损坏。油能使导线管淬火裂纹,导致一些意想不到的问题。我们使用的真空设备,真空设备和其自身的特殊性。真空设备,注意清洁卫生是一个真空,真空度差,通货紧缩更。真空镀膜机需要开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。上海真空镀膜机品牌
高频感应蒸发源蒸镀法: 高频感应蒸发源是将装有蒸发材料的石墨或陶瓷坩锅放在水冷的高频螺旋线圈中间,使蒸发材料在高频带内磁场的感应下产生强大的涡流损失和磁滞损失(对铁磁体),致使蒸发材料升温,直至气化蒸发。膜材的体积越小,感应的频率就越高。在钢带上连续真空镀铝的大型设备中,高频感应加热蒸镀工艺已经取得令人满意的结果。 高频感应蒸发源的特点: 1)蒸发速率大,可比电阻蒸发源大10倍左右; 2)蒸发源的温度均匀稳定,不易产生飞溅现象; 3)蒸发材料是金属时,蒸发材料可产生热量; 4)蒸发源一次装料,无需送料机构,温度控制比较容易,操作比较简单。电子束真空镀膜机都有哪些真空镀膜机要求1x10-5mmHg的真空度, 选用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmHg。
离子真空镀膜机现状和趋势: 1.外资企业冲击风险,目前我国多弧离子镀膜机企业在高级产品系列尚无法与国外产品竞争,在国际上影响力不高。国内多弧离子镀膜机的生产厂家,主要考虑的是国内的中、低端市场,采用舍去设备的性能和可靠性的低价策略来赢得市场,生产经营也缺乏对设备研制的能力和将技术研发付诸于实施的中长期规划。未来五年,国际厂商不断进入,国内多弧离子镀膜机行业的整合趋势势必加剧,行业竞争愈发激烈,企业生存要受到来自多方面的的挑战。 2.基础材料学发展局限性,材料是现代高新技术和产业的基础与先导,是高新技术取得突破的前提条件。真空离子镀膜设备工作时往往温度较高,甚至可以达到350到500摄氏度,要求设备制造材料有耐高温和强度高特性。另外,涂镀层的性能会直接影响镀膜需求,也需要材料学的不断创新。我国基础材料学相较于发达国家起步较晚,虽然近几年在国家的大力发展支持下取得了许多突破性的进展,实现了很多技术突破,但是和发达国家相比还存在一定的差距。基础行业发展的局限性将在一定程度上限制真空离子镀膜行业的发展。
扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用进行擦洗,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好大门,数分钟后,观察真空度,同时检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。真空镀膜机的真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
真空镀膜机主要分类两大种类: 蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等 。 一是对于蒸发镀膜: 一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。 厚度均匀性主要取决于: 1。基片材料与靶材的晶格匹配程度 2、基片表面温度 3. 蒸发功率,速率 4. 真空度 5. 镀膜时间,厚度大小。 组分均匀性: 蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。 晶向均匀性: 1。晶格匹配度 2。基片温度 3。蒸发速率 溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。 溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处注入规定的新油放置在干燥场所,妥善保管。江苏卷绕真空镀膜机装置
利用电阻加热器加热蒸发的真空镀膜机结构简单,造价便宜,使用可靠。上海真空镀膜机品牌
机械泵工作原理: 它的两个弹片交替起着两方面的作用,一方面从进气口吸进气体,另一方面压缩已经吸进的气体,将气体排出泵外。转子每旋转一周,泵完成两次吸气和两次排气。当泵连续顺时针转动时,旋片泵不断的通过进气口吸入气体,又从排气口不断的排出泵外,实现对容器抽气的目的。为了提高泵的极限真空度,均将泵的定子浸在油里面这样,在各处的间隙中及有害空间里面经常保持足够的油,把空隙填满,所以油一方面起到了润滑作用,另一方面又起了密封和堵塞缝隙及有害空间的作用,防止气体分子通过各种渠道反流到压强低的空间去。机械泵是从大气开始工作的,它的主要参数有极限真空,抽气速率,此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空,双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2PA,甚至更高。上海真空镀膜机品牌