干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业推荐真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工制药等行业得到很好的应用。在1999年底正式推出的螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵，它是一种全新的设计，是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题，如粉尘、焦油等。此泵也是采用变螺距转子，有内压缩过程，泵腔内无轴承和密封，极大降低了故障率，泵腔内没有内部阀门，因而耐粉尘和焦油能力强，此泵的螺杆采用内部中空冷却，可以降低转子温度和热变形，螺杆寿命长。真空泵常用名称：①主泵、②前级泵、②前级泵。郑州真空腔体
随着技术的发展，真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种真空泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。分子泵前级泵供货企业我们常用的真空泵为蒸汽喷发真空泵，是以过饱满水蒸汽为作业介质的，蒸汽的状况对泵的功能有决定性的影响。
国内气冷式直排大气罗茨真空泵进展很快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得到平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，比较好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。真空泵的价格、运转及维修费用。真空泵油的耐热安定性：表示油品的耐高温才能，也就是光滑油对热合成的抵御才能，即热合成温度。一些苛刻的真空运用环境都会对真空油品提出热安定性的请求。自然矿物油均有其不可防止的缺陷，耐热性能要比合成油差，泵油的成份随热氧化合成极易劣化，极限压力稳定性差，抽速也随运用时间降落。普通纯矿物油氧化实验法D943为几百小时左右，而合成油的D943可延长到3000小时以上。可见其运用寿命得到延长。抗乳化性好真空泵油油水分离能力强，水蒸汽与冷凝气体通过开气镇阀，会排出部分水蒸汽。
螺杆真空泵的结构：传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，极少数用皮带或者传动链传动。 等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果。冷却机壳是必不可少的一个环节，水冷是比较常见的方法，在机壳本体、轴承外侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。真空泵主动轴通过联轴器与电机联接。吉林耐腐蚀真空泵
通过对全球真空泵市场的分析我们可以看出，各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。郑州真空腔体
美国的“智能纺织计划”、德国的“未来纺织项目”等，中国也推出了《纺织工业“十三五”发展规划》，把推进销售作为了一个重要的攻关方向。一时间纺织智能制造技术被推到了风口浪尖。再制造就是追求低碳、环保、绿色制造，被视为未来产业升级替代的发展方向。有资料显示，真空泵，分子泵，罗茨泵，冻干泵再制造产品比新产品的制造节能60%，平均有55%的部件都可以被再利用，制造过程中可以节省80%以上的能源消耗。未来私营合伙企业工程机械渗透率有望持续提升，新四化(电动化、网联化、智能化、共享化)将是未来工程机械行业发展的重点，而智能化的普及更是重中之重。真空技术领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让、销售、真空设备、真空泵、机电设备、机械设备及配件、自动化设备、仪器仪表、橡胶制品、五金交电、金属材料、化工原料（除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、易制毒化学品），从事货物及技术的进出口业务。的发展带动了真空技术领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让、销售、真空设备、真空泵、机电设备、机械设备及配件、自动化设备、仪器仪表、橡胶制品、五金交电、金属材料、化工原料（除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、易制毒化学品），从事货物及技术的进出口业务。行业的发展，我国真空技术领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让、销售、真空设备、真空泵、机电设备、机械设备及配件、自动化设备、仪器仪表、橡胶制品、五金交电、金属材料、化工原料（除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、易制毒化学品），从事货物及技术的进出口业务。行业已具有较大的规模，已经形成较为完整的产业链布局。在我国经济步入发展新常态后，真空技术领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让、销售、真空设备、真空泵、机电设备、机械设备及配件、自动化设备、仪器仪表、橡胶制品、五金交电、金属材料、化工原料（除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、易制毒化学品），从事货物及技术的进出口业务。行业也处于新旧增长模式转换的关键时期。郑州真空腔体
