PECVD管式炉的主要特点：1.气体预热——增加前端气体预热区，沉积速度更快，成膜效果更好；2.AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控，协调控制——科探AIO控制系统；3.管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。4.智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力；5.射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，自动运行；6.炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可距离；7.整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。箱式炉工作时入箱式炉的工件应不超过炉底板.大载荷量，装卸工件时应确保电源断开的情况下进行。青海箱式气氛炉操作规程
高温箱式气氛炉是用于材料的气氛(氮气)烧结实验。它的炉膛采用莫来石聚轻砖砌筑，炉膛内上下用碳化硅棚板，炉内温度是加热元件在加热过程中经过碳化硅棚板传导(暗火加热)，温度更均匀。炉壳密封。为提高密封垫的使用寿命在炉门口设有循环水冷套以降低密封处的温度。进气设炉膛底部，经加热腔预热后分多处进入炉内，排气经炉顶后部排出。保证炉内气氛均匀，减小炉内温差。气路上装有气体流量计，用于正常使用控制气氛流量。高温箱式气氛炉的电气部分采用与炉体一体化结构，整个电气元件安装在炉体底部的一侧，结构紧凑、占用空间小。温控安装在炉体侧面板上，观察直观，调节方便，温控仪具有PID调节功能，可自动追踪设定较佳PID值，可任意设定测量分度密码，同时具备补偿功能，可使炉膛温度与显示值一致，控温方式:采用德国西门子技术，具有软启动、软关断、可控硅移相调压控制，0~98%输出可调节，面板上各种仪表开关等有相应的中文标牌。天津真空箱式炉实验室**真空管式炉的炉内环境属于真空，再结合热处理技术。
管式炉的炉衬材料：现在的很多设备制造企业也喜欢使用耐火纤维这样的一种材料来作为管式炉的炉衬，原因自然是因为这种类型的材料具有加工方便，同时拥有很好的密封性的原因，当然也有很多工程师表示这种类型的材料，还有一个非常重要的特点，那就是不会存在任何的连接缝隙。除此之外，还有很多设备会采用浇筑料来作为炉衬，其中较为常用的材料就是水泥，采用这种材料制造出来的，炉衬通常都具有激励性较好，而且该材料的使用寿命也会比较长。如此对于需求企业来讲，在实际选购管式炉这种设备的时候，也需要考虑到去楼层的材料原因很简单，因为不同类型的材料所制造出来的炉衬也会对该设备的性能带来一定的影响，同时也会影响到该设备的实际使用寿命，所以这也是一个非常重要的考量因素。
多温区管式炉的保养：一、炉子使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。二、炉膛若采用刚玉炉管，依据刚玉材料的物理性质，各温区的升﹑降温速率不宜过快（≤5℃），严禁在炉管100℃以上取送物料。有利于炉管的热应力的均匀释放，以延长炉管的使用寿命。炉膛若采用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透（又叫析晶性）是石英管的一个固有缺陷，属正常现象。三、管式炉在气氛条件下使用，气体在高温下会膨胀，导致管内压力变大，使用者应及时开启针阀，排出气体。 马弗炉温度超过600度后不要打开炉门。等炉膛内温度自然冷却后再打开炉门。--深圳市迪斯普设备有限公司。
立式真空管式炉的可编程控温表操作：1、较强的过程显示功能。智能温度控制器采用LED或LCD显示器，支持测量值(PV)，设定值(SP)，程序号，段号，工艺曲线，工作状态和工作信息显示等。这些显示信息基本能满足温度过程控制要求，使操作者一目了然地观察到控制器工作状态，了解过程控制变量的变化情况。2、参数化设置。简单而方便的参数化设置，使得智能温度控制器应用更加灵活，强大的控制能力和过程适应性都是通过参数设置完成的。参数可分为功能参数、传感器参数、控制参数和工艺参数等4类。功能参数决定了控制器的软硬件组成和结构，传感器参数与输人信号有关，控制参数与过程变量控制有关，工艺参数取决于现场工艺要求。管式炉炉型如何选择：如果被加热介质容易拖析出晶体，或者是含有固体物质的话，应该选择螺旋管圆筒炉。天津真空箱式炉实验室**
管式炉的使用注意事项：定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好。青海箱式气氛炉操作规程
多温区管式炉注意事项：1.多温区管式炉操作注意事项炉子初次使用或长时间不用后，要在120度左右烘炉1小时，在300度左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温不得超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。2.禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保护颅内清洁。3.炉体若采用硅钼棒做加热元件，依据硅钼棒的物理特性，常温下脆性很大，因此在加热元件安装好后不能随意拆装和搬动炉体，4.冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不宜过快，各种温度段的升温速率差别不宜太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉膛，5.定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是良好，应特别注意加热元件的各连接是否紧固。6.硅钼棒作为加热元件时不宜在400-700度温度段长时间运行，否则硅钼棒将发生低温氧化。7.硅钼棒做加热元件时，长时间运行，阻值会逐渐增大，这种现象叫“老化”。 青海箱式气氛炉操作规程
