真空炉分好多类型，油淬，气淬，烧结，高压气淬，回火，退火。真空烧结炉，主要用于粉末冶金不锈钢，注射成型，钢棉制品等材料的真空烧结。单室气冷真空烧结炉是由主机、真空系统、水冷系统、气冷系统、气动系统、电控系统和炉外运输车等组成。风机设计在炉子的后部，当需要冷却时，先向炉内通入氮气启动风机，当风正常运转后再向炉内充入N2气至Xbar，通过热交换器冷却，经风管送风，对工件进行冷却。真空管式炉的的安装步骤方法：1、根据交货清单检查电炉及配件是否齐全，以及运输过程是否损坏。2、检查控制柜和仪器等内部线路是否松动。3、电炉的主电源线，控制柜和补偿线安装在特定的电缆沟中。4、检查真空管式炉加热元件与相和接地之间是否有短路。5、将设备直接放在没有特定基础的混凝土地面上。6、连接推杆和炉体的紧固螺栓。7、连接进气管和长开火点火线。如果真空管式炉的温度不能够达到实验要求，则需要检查电力供应系统，如果系统不能够正常供电。上海箱式气氛炉高校实验室**
管式炉的选购要点：1、技术上，达到国内较高水平。由于管式炉在市场上有很多品种，每一种在制造技术上不同，那么在品质工艺上也是会有着很大的落差。此时，客户在选购的时候，要确保其技术上达到国内较高水准。2、配置上，同一种型号有着齐全的配置，客户可以根据实际的需求来订购即可。所以说，把握好在选购方面的要点和细节，为的就是在配置上达到了客户满意的标准，这样在市场上销售过程中，才能够满足不同客户的实际需求。3、环保上，要具备环保等级高，不会对环境产生污染。由于管式炉在加热过程中，对环保要求上是很高的，须要控制在一定的范围内。因此，在选购的过程中，要达到绿色环保，在用的过程中不会出现质量问题的。佛山PECVD管式炉生产厂家使用真空管式炉的操作：升温和定温分别是以红灯和绿灯表示的，红灯表示恒温，绿灯则表示升温。
PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，达到表面钝化和体钝化的目的。
管式炉怎样实现程序控温？1、管式炉温度测量与控制。热电偶采集信号通过控温仪表测量出控制触发板控制可控硅导通角的大小，从而控制主回路加热元件电流大小，使管式炉保持在设定的工作温度状态。2、管式炉可控硅控制。管式炉可控硅温度控制器由主回路和控制回路组成。管式炉主回路是由可控硅，过电流保护快速熔断器、过电压保护管式炉的加热元件等部分组成。控制回路是由直流信号电源、直流工作电源、电流反馈环节、同步信号环节、触发脉冲产生器、温度检测器和管式炉的控温仪表等部分组成。炉子经过一定时间后，改变可燃气体的成分，使得至少大部分烃类气体被一种富氢气体所代替。
管式炉的重要工艺设计参数有：热负荷、热效率、辐射管热强度、管内介质流速、火墙温度、对流室烟气流速等。1、热负荷：被加热介质吸收的热量，注意不是燃料的放热量，也不是加热炉的供给热量。它表示管式炉规模的大小，MW。2、热效率：表示供给管式炉的热量被有效利用的程度，%。她是管式炉先进性的重要指标。3、辐射管平均热强度：表示单位时间通过炉管单位外表面积的热量，W/m2。它也是管式炉先进性的重要指标。标准称呼是“热流密度”。4、管内介质流速：表示介质在管内流动的快慢，有质量流速（kg/m2.s)和线速（m/s)两种表达方式，还有经济流速和品质流速之分。5、火墙温度：烟气出辐射室温度，也称桥墙温度。它表示辐射室传热的激烈程度。它也是管式炉操作中的重要控制指标。6、对流室烟气流速：烟气通过对流室管束流动的快慢。它影响到对流传热系数的大小和烟囱的高低。使用真空管式炉的操作：因为控制器和电炉的中线是共用的，所以中线和相线不能接反了。黑龙江PECVD管式炉高校实验室**
空管式炉就能完成对产品的烧结工作。上海箱式气氛炉高校实验室**
管式炉采用先进技术研制开发的高性能高节能的新型电炉，有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。管式炉针对实验室的使用要求，装卸料采用间歇式手动装、卸料，装料时将料盒放置在料盆支架上，打开并取出炉管一端的密封端盖，放入带料盒的料盒支架，再将密封端盖安装在炉管法兰上并拧紧卡箍螺栓。然后通人工艺气氛，直到炉管内氧含量达到工艺要求时进行升温烧结。产品烧结工艺完成后，应继续通人小量的工艺气氛并进行降温，直到炉内温度低于工艺要求时，方可打开炉管密封端盖取出产品。上海箱式气氛炉高校实验室**
