在小的尺寸下，一粒尘埃无异于一块巨石。因此，集成电路的生产必须在经过空气过滤的洁净室中进行，人员和物品只能在进行彻底清洁后通过一间气闸室进入。真空泵也用于后者，以通过负压吸走表面的灰尘颗粒。洁净室本身存在轻微超压，这意味着即使发生泄漏，任何东西都无法进入。洁净室所需的恒定气流从上方供应。相应的萃取装置位于洁净室的夹层楼板中。作为芯片基本材料的硅晶片，在各个制造步骤过程中都会使用真空夹持装置（卡盘）予以固定，以保护材料。螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。陕西国产真空泵分类
螺杆式真空泵是容积式真空泵中的新兴成员，出现于上世纪90年代前后，发展较晚。但作为一种理想干泵，螺杆式真空泵在面世后获得了快速发展，它也是昊青气体装备的主要产品领域之一。现在就跟随小编去了解一下它的情况。螺杆式真空泵脱胎于螺杆式压缩机与螺杆液体输送泵，是容积式真空泵中一种较为理想的真空泵。它能提供清洁无油的真空环境，并且对腐蚀性气体、可凝性蒸气、含粉尘颗粒气体有较强适应性，因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域，螺杆式真空泵备受青睐。螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。它具有以下特点：1、清洁无油，多相混输，适应性普遍。螺杆式真空泵转子间存在严格间隙，泵腔内无油，可抽除腐蚀性气体、有害及含粉尘、可凝性蒸气等复杂气体。2、结构简单，动平衡好，可靠性高。螺杆式真空泵零部件少，主要部件无易损件，也无不平衡惯性力，运转可靠，寿命长。3、因结构简单，零部件少，所以操作、维修维护简便。4、强制输气，可以在宽压力范围内保证较大抽速，排气量几乎不受排气压力影响。湖北永磁螺杆真空泵方案真空系统主要由真空罐、进气过滤、真空泵、油气分离、进气管系（真空管系）和排气管系组成。
昊青气体装备的EVS油封螺杆式真空泵，采用低噪音的真空技术，其两个螺杆组件低速旋转，这样EVS便可以在低声级上运行。这种静音式运行，允许您将EVS安装在使用点的附近。同时，该机型性能可靠。可靠性是EVS真空系统的一个关键特征。所采用的技术没有接触，所以也无磨损。作为一项附加优点，油封技术带来强大的无故障运行。除了这项先进的技术之外，EVS还配备了可靠的特大号电机，和专业的油气分离系统。前列的凝聚过滤器减少了环境中的油雾量，从而减少额外的加油量，降低运行温度和发动机的功耗。EVS油封螺杆式真空泵拥有更好的效率，由于每千瓦输入均能有更好的性能输出，EVS在其工作压力范围上的表现超过所有其他的真空技术。并且能按照需求配置能力：模块化阀门直接安装到泵的进口上。同时还能即插即用型安装。结构上，它设计紧凑，节省空间。由于需要更少的维护，正常运行时间更长。
获得真空的各种方法真空是由真空泵产生的，真空泵的类型很多，为了获得低压力、大抽速，可以用多级真空泵串联和并联成真空系统。但是所有的真空系统都包含一台初级泵或称之为排大气的真空泵。根据抽气方法的不同，初级真空获得设备分类如下：●机械地截获气体，并将吸入的气体从吸气口输送到排气口，例如变容真空泵。●通过一个射流来传递动量，并将被抽气体带走，例如水蒸汽喷射泵和大气喷射器。●在展开的表面，利用在低温下的多孔介质吸收气体，例如吸附泵。前两类真空泵普遍应用于化工工业领域，但是水蒸汽喷射泵由于耗能大、污染性强，现在己很少使用。吸附泵将被抽气体贮存在泵内，不能直接排向大气，所以亦不适合工业应用。随着真空在化工领域的应用不断增多，采用复合真空系统要更为合适，即由多级真空泵串联而成的真空机组。真空泵在使用过程中，应避免日光直射，远离热源体。.
由于空间模拟装置其被抽容器的容积从几千立方米到几万立方米，真空度变化从几万Pa 到几个Pa，而且被抽气体中含有大量的水蒸气或部分氮氧化物，所以这种真空系统首先遇到问题就是预抽真空问题，如果选用传统的滑阀泵作前级泵则存在下列问题：首先是滑阀泵在高入口压力下长时间运行，由于气流携带作用，其喷油现象十分严重，一是浪费大量昂贵的油，二是污染环境；由于被抽气体中含有大量的水蒸气或氮氧化物，这些气体一旦进入泵内会使真空泵油迅速乳化变质，油的密封性破坏，导致真空性能下降，甚至使泵毁坏；需要配置泵的数量多，而且滑阀泵的振动、噪声也大；螺杆真空泵由于具有清洁无油、抽速大、振动小、噪声低等优点，已成为当前大型空间模拟真空系统的优先选择产品。在真空技术中，一般用“真空度”和“压强”来表示真空程度。重庆永磁变频螺杆真空泵厂家
正确地选择真空泵的工作点，每种真空泵都有一定的工作压强范围，真空泵的工作点应该选在这个范围之内。陕西国产真空泵分类
昊青气体装备的油封螺杆式真空泵，采用变频驱动系统，VCS矢量变频驱动，配合永磁同步电机，变频启动，快速大范围动态响应，也能在目标工况精确控制。系统采用工业领域定制的变频器，效率高、稳定可靠。EB-1智能控制系统，可编程智能工业控制器，具有上电自检、运行逻辑控制、运行监测、故障报警、维保提示等一系列功能；6"彩色触摸屏，界面美观友好，操作简单方便；提供RS485接口，原生支持modbus协议，支持上位机联控和多机直接联控；内置物联网模块，支持物联网，可远程通过PC和移动端进行监控。陕西国产真空泵分类
昊青气体装备技术（江苏）有限公司一直专注于真空设备及配件、鼓风机、压缩机、流体设备及配件、自动化设备及配件、智能设备及配件的研发、设计、制造、销售、安装、租赁及技术咨询；合同能源管理；节能科技领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务；货物及技术的进出口业务。，是一家机械及行业设备的企业，拥有自己**的技术体系。公司目前拥有较多的高技术人才，以不断增强企业重点竞争力，加快企业技术创新，实现稳健生产经营。昊青气体装备技术（江苏）有限公司主营业务涵盖真空泵，鼓风机，压缩机，坚持“质量保证、良好服务、顾客满意”的质量方针，赢得广大客户的支持和信赖。公司凭着雄厚的技术力量、饱满的工作态度、扎实的工作作风、良好的职业道德，树立了良好的真空泵，鼓风机，压缩机形象，赢得了社会各界的信任和认可。
