真空管式实验电炉的工作原理为：采用石英管或刚玉管为密封容器，选用不锈钢材质的密封法兰，使得石英管或刚玉管在满足密封的条件下，同时可以非常方便的取放实验材料。使用真空管式实验电炉时，只需将实验材料放入石英管或刚玉管内，通过不锈钢法兰将石英管或刚玉管进行密封，通过真空泵或法兰上预留的进气口，抽取石英管或刚玉管内的气体或通入特定的气氛，在对石英管或刚玉管进行加热即可满足实验的要求。真空管式实验电炉在通入气氛时，建议先预抽一下真空，再通入相应的气氛，如条件允许，要反复进行几次，这样在实验时，高温电炉炉管内的气氛纯度将更高。管式炉的使用注意事项：需要特别注意加热元件的各连接点的连接是否牢固。四川箱式气氛炉高校**
PECVD管式炉的主要特点：1.气体预热——增加前端气体预热区，沉积速度更快，成膜效果更好；2.AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控，协调控制——科探AIO控制系统；3.管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。4.智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力；5.射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，自动运行；6.炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可距离；7.整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。安徽箱式气氛炉特价管式炉的使用注意事项：在300℃左右烘烤2小时后才可以使用，以免造成炉膛开裂。
管式炉采用高温石英材料为炉管，低蓄热高辐射轻质纤维材料制作发热炉胆，节能，高温发热丝为发热元件，可在15分钟时间升温到1000度。控制系统为先进的LTDE可编程仪表，可任意设置升温降温，恒温，定时开机，关机等多波段操作。控制器位于炉体下方，一体化制作，炉体和温控器的电气连接出厂前已完成，通上电源即可使用，控制系统采用升温速度可设定的LTDE可编程仪表，管式炉系统同步协调控制，使任何试验或实验的一致性和再现性成为可能。具有自动恒温及时间控制功能，并附设有二级超温自动保护功能，控制可靠，使用安全。密封系统带有双头进气阀，单头出气阀，真空表，不锈钢密封头，和耐高温密封胶，密封性能好，如需要还可另配流量计，和水冷却装置。该炉美观大方，性能优越，是各高等院校科研单位首先的真空管式炉。
真空管式炉的操作流程：1、控制好气压。真空管式炉在打开之前，一定要保证各个东西的作业情况，包括水，电，气体，等等，保证电压在380伏特左右，另外，这种电压不能够偏差超过10%，而且，气压能够达到0.6毫帕以上，水压的要维持在0.5毫帕左右以上，同样，整个管式炉满足上述要求之后，然后再通电，在这种情况之下再进行操作。2、加热室保持干净。在真空管式炉操作之前，如果要放一些东西的话，首先应该查看加热室，加热室须保证在洁净的环境当中。另外，里面不能够有任何的杂物，不能有一些油污，也不能用水，在里面查看各类不同的商品，须要干燥清洗。整个设备在装入料子之前，就应该把旋转按钮扭到相关的方位，然后再发动机械泵和抽阀，这样，就可以接通整个设备的电源！当整个管式炉的高度达到了1000帕的时候，也要及时地对他的监测点进行检测，如果条件达不到的话，那么，整个泵就不可能敞开，点击按钮，基本上不可能有任何的反响。等到泵的家里有时刻能够达到九十分钟的时候，就可以看一下触摸屏上的计数器，翻开高阀，抽高真空。当管式炉里面开始进行作业的时候，要留意监测点的位置。在进行器件的处理时，尽量把物品放在管式炉炉膛的中间部分，这样器件受热会比较均匀。
管式炉注意事项：1、样品的安装和支撑架的热导率应低，以保证试验样品与安装和支撑架间处于一种绝热状态。2、在温度试验设备结束测试以后，迅速取走试验样品会对样品产生不必要的应力，并可能得到意想不到的结果。因此，管式炉必须在试验样品冷却到环境温度后才能取出样品。3、检查试验区内有无油气等易挥发性物质，检查有无气味的物质，这类物质试验后果必须预先进行确认。4、管式炉注意确认试验区内试验样品的温度状况。5、为保持温度区内温度一致，需要尽可能保证试验环境温度及设备动力电源波动较小，确保试验样品不产生热辐射并不吸收热量从而保证试验区温度平稳。管式炉炉型如何选择：缩短流程的长度，以减少在压降的时候，应该选择单排管双面辐射的炉型。四川箱式气氛炉高校**
真空管式炉属于众多管式炉中的一种，为适应不同的设备需求。四川箱式气氛炉高校**
PECVD管式炉的使用注意事项：炉管内气压不可高于0.02MPa。由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议选购减压阀，使用时会更加安全。当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。石英管的长时间使用温度＜1100℃。对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生。四川箱式气氛炉高校**
