据昊青气体装备的研发人员介绍,螺杆式真空泵不仅适应性普遍,可以在恶劣条件下抽气,同时可以达到较高真空度(0.1~1Pa)。因此,随着半导体、石化行业的快速发展,螺杆式真空泵也开始普遍应用于电子半导体、医药化工领域,如半导体行业的气相沉积、蚀刻,医药化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。 虽然由于型线技术以及加工上的成本导致螺杆式真空泵购置费用较为昂贵,但从长远来说,其宽适应、高效节能环保的特性以及低故障维修率,能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益,使用的更加普遍必是未来的趋势。一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组。北京本地真空泵推荐
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压。半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体,因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。广东口碑好真空泵售价在现代食品行业中,毫无疑问的也会使用到真空,比如乳品、肉类、茶叶等。
螺杆式真空泵一般是双螺杆结构。螺杆式真空泵是通过一对非对称螺杆转子,在泵腔中作同步、高速反向运转,周期性改变齿间容积而产生的吸气和排气作用的抽气设备。 它的主要结构包括螺杆转子、轴承、泵体、密封等。螺杆转子经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵腔中,螺杆与螺杆之间维持严格一定的间隙。泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,腔内无需润滑油。因此,螺杆式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空高,消耗功率低,具有节能,免维修等优点。
昊青气体装备在设计真空泵之初,就充分考虑到润滑油对真空泵使用的影响。真空泵油不仅作为获得真空的介质,还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用,要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。由于真空泵要求真空度很高,一般使用石蜡基窄馏分润滑油。如果为扩散真空泵,还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。伴随真空泵不断向高转速度发展,滑片和泵体的高速摩擦使油温升高,油品很容易氧化分解,尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作,使系统内蒸气压升高,真空度降低,因此,要求真空泵油具有良好的热氧化稳定性。与此同时,真空泵使用过程中可能吸入腐蚀性气体或者水汽,这就要求真空泵油具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。真空泵油要求纯度高不携带轻质组分,以免影响油品饱和蒸汽压。昊青气体装备技术(江苏)有限公司,位于始终处于全国县前列的江苏省昆山市。
油真空泵如何机械维护?对油真空泵的维护保养应注意以下方面:1.水会腐蚀油真空泵,所以含水的物质禁止使用油真空泵抽真空。2.含有大量溶剂的物质请首先在烘箱中除去大部分的溶剂后,再使用油真空泵抽真空。3.按正确的顺序使用真空泵,以防止倒吸现象发生。4.使用完真空烘箱后,务必做好清洁工作,擦干净真空烘箱的玻璃窗。5.擦净表面防锈油。6.***调速器内腔、喷油真空泵内腔的防锈油,加入规定牌号的润滑油。7.燃油管路里的防锈油也应在使用前清理干净,将燃油接入喷油真空泵管路,不断地转动喷油真空泵凸轮轴,直至出油阀紧座喷出洁净的燃为止。8.燃油选用合理。9.必须使用标号合适的燃油。一般夏天使用0号柴油,冬季使用-10号轻柴油。10.使用的燃油必须干净,不得含有任何杂质和水分。真空泵是一种应用非常普遍、品种繁多的通用机械,正确选择真空泵的类型和型号是十分重要的。天津变频油螺杆真空泵供应商
真空系统主要由真空罐、进气过滤、真空泵、油气分离、进气管系(真空管系)和排气管系组成。北京本地真空泵推荐
螺杆式真空泵脱胎于螺杆式压缩机与螺杆液体输送泵,是容积式真空泵中一种较为理想的干式真空泵。它能提供清洁无油的真空环境,并且对腐蚀性气体、可凝性蒸气、含粉尘颗粒气体有较强适应性,因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域,螺杆式真空泵备受青睐,逐渐成为传统油封机械泵、液环泵的换代产品。 螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动,来周期性改变齿间容积实现输送气体,达到抽气的目的。它具有以下特点: 1、清洁无油,多相混输,适应性普遍。螺杆式真空泵转子间存在严格间隙,泵腔内无油,可抽除腐蚀性气体、有毒及含粉尘、可凝性蒸气等复杂气体。2、结构简单,动平衡好,可靠性高。螺杆式真空泵零部件少,主要部件无易损件,也无不平衡惯性力,运转可靠,寿命长。3、因结构简单,零部件少,所以操作、维修维护简便。4、强制输气,可以在宽压力范围内保证较大抽速,排气量几乎不受排气压力影响。北京本地真空泵推荐
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