形式上,螺杆式真空泵有卧式和立式之分;依据螺杆转子型线的不同又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵;单头螺杆式真空泵根据转子螺距的不同,可分为等螺距螺杆式真空泵与变螺距螺杆式真空泵,变螺距中又可细分为一段式、两段式、三段式等。多头型线在一个导程内即能完成吸气、压缩、排气过程,导程少,可有效减少泵的体积与重量,适用于大抽速领域,但其型线复杂,需特制道具与专用机床,加工费用昂贵,且由于泄漏三角的因素,真空度不高,因此市场上并不多见。单头型线适用于中小型螺杆式真空泵,市场上也多为单头螺杆式真空泵。其中等螺距螺杆式真空泵腔内无压缩,可以轻松排出固体颗粒与可凝性气体,但其排气温度与能耗度较高;变螺距螺杆式真空泵腔内有压缩,排气温度低、能耗低,但对粉尘颗粒以及可凝性气体的耐受性不如等螺距。市场上的真空泵种类多种多样,例如螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等。河北变频真空泵排名靠前
通常情况下,真空泵可以按性能特点和用途分类。第一种是低真空泵。泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。其次是中真空泵。极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。第三种是高真空泵。极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。还有一种是超高真空泵。极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。福建智能真空泵可靠推荐真空泵的选型原则是,所选真空泵的性能应满足工艺流程设计要求。
真空吸送系统中的主要装置:1、吸嘴装置。一般吸嘴都是插人散状料中,主要型式有二种,一种是单筒式的,一种是双筒式的。当系统抽真空时,大气透过物料的一次风和吸嘴本服装学校体上开孔进去的二次风将物料带进料管中,2、分离器。分离器一般为座式分离器,它将真空吸送系统中料管内的散状料、粉料分离下来。常见的分离器有离心式和重力式,其中重力式的结构简单、风量小。料管中95%的散状料和粉料被分离下来进人分离料仓,带有尘料的很少的气体进人除尘仓。3、除尘器。除尘器为保证排出系统的尾气达到环保标准和减少有尘气体对真空泵的磨损,经分离后的气体需再经旋风除尘器和水浴除尘器。水浴除尘器内需保持一定的水面,进气管插人水中,尘灰和气流进人水中沉淀,净化的气流再进人水环泵中。4、真空泵。5、阀门管道。阀门管道多采用水、煤气管和无缝钢管,输送管道的壁厚不应小于4mm-6mm,为了减少真空压力损失,弯头半径不应小于管内径的6倍-10倍。气管直径可等于料管直径或为料管的0.8倍。真空吸送系统的阀门要求气密性很高,不然将影响吸送能力,一般采用球阀和蛛阀,要求连续卸料时,不宜采用星形给料机、重锤锁气器等,面采用双锥幅式密封闭锁器较好。
半导体工艺真空主要用在蒸发,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测试设备,真空清扫等等键合工序,半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁,因此,半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项:1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道,避免超压。半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,所以需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体,因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中,有害气体比较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。 螺杆式真空泵不仅适应性普遍,可以在恶劣条件下抽气,同时可以达到较高真空度(0.1~1Pa)。
昊青气体装备技术(江苏)有限公司位于江苏省昆山市,是一家集螺杆真空泵、压缩机、鼓风机的专业生产厂家。公司技术力量雄厚,工艺设备先进,产品质量上乘,配套齐全,是指引国内真空潮流的专业厂家。公司拥有真空泵、真空设备设计专业的技术人员,并不断吸收先进的技术与人才。具有先进的设计和制造工艺技术,拥有专业的真空设计开发中心,致力于开发,生产适应市场需求的新一代产品。同时,公司拥有先进的真空产品生产和检测设备,并积极引进国内外先进的制造工艺和技术及***的制造设备。借助计算机辅助设计系统及计算机管理系统,利用公司多年的经验积累和技术创新,可系统地为产品的设计和生产服务,为客户提供便捷的真空系统解决方案。公司严格奉行科技创新,顾客至上,质量有保障,诚信守约的质量方针,竭诚为广大用户提供***的产品和***的服务。公司热忱欢迎海内外的各界朋友莅临指导,携手共进!真空泵的发展从十七、十八世纪迄今已经历了三个多世纪漫长的历史过程。广东定制真空泵哪个好
用CNC对工件进行精密加工时,需采用真空夹具对工件进行夹持。河北变频真空泵排名靠前
昊青气体装备总结出真空泵电机温度高的解决方案。电机功率、转速是和真空泵相匹配的,无法更改。风扇安装于电机主轴上,电机转速决定了风扇转速,也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用,但叶片数量增加后,动平衡不容易找,如找正不好,会引起电机振动增加。方法如下:1)、将原风扇罩加长40cm,在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机,轴流风机电机功率850W,转速1489r/min,电压380V。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制,轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行,真空泵停运后30min停运轴流风机,以使主电机得到充分冷却;2)定期清理电机上灰尘,保持电机散热片清洁,增加其散热能力;3)将真空泵所在母线电压调整为400V。河北变频真空泵排名靠前
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