管式炉以电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和多段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，管式炉炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料，管式炉双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，采用耐高温不锈钢、两端用不锈钢法兰密封，可通氮气、氢气、氨气、氯气等，用浮子流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。碳硫分析仪与管式炉配套使用，能快速、准确地测定钢、铁及其合金、有色金属、水泥、矿石、玻璃、焦碳、煤、催化剂及其它固体材料中碳、硫两元素的质量分数。是集光、机、电、计算机、分析技术等于一体的高新技术产品，具有测量范围宽、分析结果准确可靠等特点。采用先进的计算机技术，仪器的智能化、屏幕显示的图、文及数据的采集、处理等都达到了目前国内先进水平，是诸多行业测定碳、硫两元素理想的分析仪器设备。使用真空管式炉的操作：把热电偶通过偶孔插入。河北真空箱式炉研究所**
管式炉炉膛为一长方形，采用u形硅碳棒两侧加热，共4根，装置运用便利。其两头开有圆孔，便于刚玉炉管穿过炉膛。炉膛资料采用1500型陶瓷纤维,其他保温采用1260陶瓷纤维资料，具有的节能功能和疾速升温功能。管式炉针对实验室的使用要求，装卸料采用间歇式手动装、卸料。装料时将料盒放置在料盆支架上，打开并取出炉管一端的密封端盖，放入带料盒的料盒支架，再将密封端盖安装在炉管法兰上并拧紧卡箍螺栓。然后通人工艺气氛，直到炉管内氧含量达到工艺要求时进行升温烧结。产品烧结工艺完成后，应继续通人小量的工艺气氛并进行降温，直到炉内温度低于工艺要求时，方可打开炉管密封端盖取出产品。茂名CVD管式炉研究所**炉体采用双层炉壳结构，双层炉壳之间装有风机，可以快速升降温，炉壳表面温度低。
管式炉如何正确的安装：1、炉体的安装。管式气氛炉可放置在工作台上，以适合工作人员的操作高度，工作台的有效承载应大于200kg。2、电气的安装。电源配置：220V。按用户的电控柜配置功率应大于6Kw。热电偶的安装：插入炉膛内深度为25mm，采用N分度号补偿导线与控温仪表联接。注意：应先装石英管后装热电偶，热电偶不能与石英管接触。电炉和控制柜整体接地，接地线接地电阻应小于4Ω。电阻丝接线方式：二根并联，电源：单相220V。同时由于运输等原因，应检查炉体各螺钉的紧固情况，确认无误。管式炉均系采用先进技术研制开发的高性能高节能的新型电炉，有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。
PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，达到表面钝化和体钝化的目的。 马弗炉使用时炉膛温度不得超过较高炉温，也不得在额定温度下长时间工作。
管式炉设备管理：1、仪器档案要做到一台一档，主要内容包括：仪器登记表，技术说明书，验收调试报告，维修报告，使用及维护情况记录表及检定报告。2、每台管式炉设备的档案应按仪器设备档案管理制度的规定进行管理、整理并定期进行清点，以防资料丢失，一般一个季度一次。3、管式炉每台仪器应有固定标识牌，包括仪器名称，型号，仪器出厂号，固定资产号，购置日期，仪器管理人员等。4、所有仪器设备应配备相应的设施与操作环境，保证仪器设备的安全处置，使用和维护，确保仪器设备正常运转，避免仪器设备损坏或污染。管式炉以硅碳棒或硅钼棒为加热元件，采用双层壳体结构和日本岛电40段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，石英管或99刚玉管两端用不锈钢法兰密封，用流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业等做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。真空管式炉的零件老化以后就会影响工作的效率，对于器件的处理上就会不尽完美。山东真空管式炉厂家**
真空管式炉使用后，速度调节旋钮应旋转回“0”，然后停止。-深圳市迪斯普设备有限公司。河北真空箱式炉研究所**
高温箱式气氛炉的使用注意事项：1.高温烧制过程中，不能打开炉膛。因为这样不但危险，而且由于温度的突变对作品和产品本体造成损坏。2.烧制完毕，除非确认炉内温度已下降，否则不允许将插头从插座上拔下。因为一旦冷却扇停止工作，产品本体就有可能温度骤升，可能导致产品本体的损坏。3.炉子使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温不得超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。河北真空箱式炉研究所**
