高温箱式气氛炉炉膛采用莫来石聚轻砖砌筑，炉膛内上下用碳化硅棚板，炉内温度是加热元件在加热过程中经过碳化硅棚板传导(暗火加热)，温度更均匀。炉壳密封。为提高密封垫的使用寿命在炉门口设有循环水冷套以降低密封处的温度。进气设炉膛底部，经加热腔预热后分多处进入炉内，排气经炉顶后部排出。保证炉内气氛均匀，减小炉内温差。气路上装有气体流量计，用于正常使用控制气氛流量。外形均为长方体。炉壳系用冷轧板经折边焊接制成。工作室为真空成型的氧化铝纤维炉膛，加热元件置于炉膛内，在炉膛底部均装有氧化铝炉底板；炉膛与炉壳之间用1400型纤维板填充，双层壳体结构，控温系统与炉体一体化设计。管式炉炉型如何选择：设计负荷小于1MW时，应该选择纯辐射型管式炉，并且优先选择纯辐射型圆筒炉。河北PECVD管式炉参考价
PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，达到表面钝化和体钝化的目的。 重庆PECVD管式炉参考价在操作真空管式炉的时候。一定要有安全意识。
立式真空管式炉采用智能化程序控温系统，移相触发、可控硅控制，控温精度高；开启式立式真空管式炉炉膛采用日本技术真空吸附成型的氧化铝多晶体纤维材料；双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温度；开启式炉盖设计，可在高温情况下观察物料反应情况并实现迅速降温；真空级法兰密封，配有真空装置，可以抽真空通气氛；炉体处于立式工作位置，适用于在真空或是气氛保护环境下的材料烧结试验。立式真空管式炉的控制系统,具有安全可靠,操作简单,控温精度高（**PID控制）,保温效果好,温度范围大,炉膛温度均匀性高,温区多,可通气氛抽真空,可倾斜角度,炉管可360℃旋转等特点。立式真空管式炉的真空气氛系统：真空密封系统采用特种设计技术，具有操作安全、方便、真空度高，密封性好，真空保持时间长，密封采用不锈钢金属法兰及O型耐高温氟胶圈密封，气体经过流量计后由针型阀开关进入炉管内，阀控配有进气阀，排气、抽真空阀。减压阀，安全阀，可通多种气体、氩气、氮气、氧气、一氧化碳、氨分解气等气体，可充入高压气体，气氛压力极限值0.1MPa，采用独特的密封技术，可长时间保压，安全性能好，操作方便。
PECVD工作原理是什么？PECVD技术是在低气压下，利用低bai温等离子体在工艺腔体的阴极du上（即zhi样品放置的托盘）产生辉光放电，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，较终在样品表面形成固态薄膜。其工艺原理示意图如图1所示。在反应过程中，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。这些分解物发生化学反应，生成形成膜的初始成分和副反应物，这些生成物以化学键的形式吸附到样品表面，生成固态膜的晶核，晶核逐渐生长成岛状物，岛状物继续生长成连续的薄膜。在薄膜生长过程中，各种副产物从膜的表面逐渐脱离，在真空泵的作用下从出口排出。 真空管式炉在使用的时候加上隔热的炉塞，这样能够有效的避免对热辐射造成的损失。
高温箱式气氛炉炉体的密封组成结构：（1）炉体采用密封式焊接，并做煤油渗漏检查；（2）炉内胆与炉盖采用高温硅胶垫密封；（3）炉门板通过螺栓与水冷套面板压紧，炉体后部设一进气口，以不锈钢针阀和炉体右边的浮子流量计控制进气量。炉体前端的水冷套部设有排气管，用于排除炉内废气。排气管上装有球阀，可控制排气量大小；（4）水冷套下部有一进水管，上部有一出水管，并有一出气口和进气口；（5）炉体的下部，左部、右部安装有进气管和阀门，供用气体洗炉膛用；管式炉充入气体注意：接通机械泵电源，打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门，抽5分钟。江门多温区管式炉参考价格
使用真空管式炉的操作：把电源接通，打开控制电源的开关，这个时候绿灯就亮了。河北PECVD管式炉参考价
多温区管式炉的保养：一、炉子使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。二、炉膛若采用刚玉炉管，依据刚玉材料的物理性质，各温区的升﹑降温速率不宜过快（≤5℃），严禁在炉管100℃以上取送物料。有利于炉管的热应力的均匀释放，以延长炉管的使用寿命。炉膛若采用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透（又叫析晶性）是石英管的一个固有缺陷，属正常现象。三、管式炉在气氛条件下使用，气体在高温下会膨胀，导致管内压力变大，使用者应及时开启针阀，排出气体。 河北PECVD管式炉参考价
