管式炉采用先进技术研制开发的高性能高节能的新型电炉，有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。管式炉针对实验室的使用要求，装卸料采用间歇式手动装、卸料，装料时将料盒放置在料盆支架上，打开并取出炉管一端的密封端盖，放入带料盒的料盒支架，再将密封端盖安装在炉管法兰上并拧紧卡箍螺栓。然后通人工艺气氛，直到炉管内氧含量达到工艺要求时进行升温烧结。产品烧结工艺完成后，应继续通人小量的工艺气氛并进行降温，直到炉内温度低于工艺要求时，方可打开炉管密封端盖取出产品。使用真空管式炉的操作：如果使用补偿导线以及冷端补偿器的话，那么要把机械零位调整到基准温度点。茂名马氟炉操作规程
真空箱式炉操作特别提示：（1）配上真空泵，抽取炉内的空气，较大不超过四格指针刻度，当真空表指针下降接近四格时停顿抽气，充入隋性气体，使指针归0位或稍大于0位，再抽气，充气，往复3-5次，确保炉腔内的保护气体有一定的浓度；（2）如无真空泵需气氛保护时，接上进气管，充入惰性气体，稍稍放开前面的出气阀，当充入气体大于炉膛容积约1.5倍时关闭出气口阀门，观测压力表大于“0”小于一格；（3）在完成以上内容后再在操作面板上设置好需要温度程序（升温速度较高不得超过10℃/min）（4）实验结束提取试样前需确保炉内温炉降在安全范围内，打开气阀后方可打开炉门。山西管式炉特价使用真空管式炉的操作：把热电偶通过偶孔插入。
多温区管式炉的保养：一、炉子使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。二、炉膛若采用刚玉炉管，依据刚玉材料的物理性质，各温区的升﹑降温速率不宜过快（≤5℃），严禁在炉管100℃以上取送物料。有利于炉管的热应力的均匀释放，以延长炉管的使用寿命。炉膛若采用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透（又叫析晶性）是石英管的一个固有缺陷，属正常现象。三、管式炉在气氛条件下使用，气体在高温下会膨胀，导致管内压力变大，使用者应及时开启针阀，排出气体。
PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，达到表面钝化和体钝化的目的。 管式炉炉型如何选择：选择炉膛中间排管的圆筒炉、立式炉、箱式炉或者是其他的炉型。
管式炉注意事项：1、样品的安装和支撑架的热导率应低，以保证试验样品与安装和支撑架间处于一种绝热状态。2、在温度试验设备结束测试以后，迅速取走试验样品会对样品产生不必要的应力，并可能得到意想不到的结果。因此，管式炉必须在试验样品冷却到环境温度后才能取出样品。3、检查试验区内有无油气等易挥发性物质，检查有无气味的物质，这类物质试验后果必须预先进行确认。4、管式炉注意确认试验区内试验样品的温度状况。5、为保持温度区内温度一致，需要尽可能保证试验环境温度及设备动力电源波动较小，确保试验样品不产生热辐射并不吸收热量从而保证试验区温度平稳。使用真空管式炉的操作：因为控制器和电炉的中线是共用的，所以中线和相线不能接反了。广东多温区管式炉特价
炉体采用双层炉壳结构，双层炉壳之间装有风机，可以快速升降温，炉壳表面温度低。茂名马氟炉操作规程
使用真空管式炉应该注意哪些安全问题呢？在使用真空管式炉的时候，安全问题一定也是不能忽视的。真空管式炉大多数需要注入一些特殊的气体，这个时候就要检查好管式炉的密封性，避免发生炸裂等。在操作真空管式炉的时候，也要严格的按照操作的说明书进行操作，操作之前提前做好检查，不能存在侥幸心理。管式炉由余热回收系统和加热炉本体组成，余热回收系统包括空气预热器，其特征在于：空气预热器由非冷凝式空气预热器和冷凝式空气预热器两段组成。管式加热炉炉体内设有烟囱档板，加热炉本体和烟囱档板下方设置有高温烟气出口。茂名马氟炉操作规程
