立式真空管式炉的成套供应范围有温度控制器、热电偶、补偿导线等。温度控制有继电器控制、可控硅控制二种，由于是间歇式作业炉，一般都采用40段PlD可编程控制，能严格控制产品的烧制过程。立式真空管式炉配有石英管内胆，二边不锈钢法兰密封，密封法兰可随意装卸，用于物料进出，配有金属三通进气阀门和单通出气阀，及真空表（另有气体流量计和水冷却装置可选配）。仪器采用一体化制作，只需接通电源即可工作。炉胆采用超轻质材料，重量较轻，升温速度较快,速度可调。控制系统采用LTDE技术，全自动智能化控制，具有30段编程，输出功率百分比、斜率修正、自动恒温、自动关机，及保证某一点温度正确的PID功能。使用真空管式炉的操作：把热电偶通过偶孔插入。贵州管式炉高校实验室**
管式炉使用技巧：1、管式炉无需不凡安置，只需放置在室内地面或工作台上即可。节制器应放置在工作台上，工作台的倾斜度不应高出5度，节制器与炉之间的较小间隔不应小于0.5米。2、与节制器、炉连接的电源线、开关、熔断器的负载才能应略高于炉的额定功率。3、布线时，首先松开节制器外壳摆布两侧的螺钉，然后向上转动外壳并连接电源线。节制器与炉、热电偶之间的接线。热电偶从热电偶固定座的小孔插入炉内，用石棉绳堵住孔与热电之间的间隙，然后固定。4、查抄接线是否精确后再通电。首先封闭电源开关，然后将节制器面板上的按钮开关拉到打开位置，调解设置按钮，并将温度设置到所需的程度。红灯熄灭时，还有打仗器的声音。管式炉通电时，电流表指示加热电流值，温度随炉内温度迟钝上升，暗示运行正常。5、为了查抄断偶庇护装置是否正常工作，办法是：松开热电偶的一端，此时温度丈量指示器迅速上升到高点，主动堵截加热电源，断偶装置状况良好，在重新连接热电偶后能正常工作。贵州多温区管式炉实验室**立式真空炉一般由炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统和控温系统等组成。
箱式炉的安全操作：1、清理炉内铁屑，清扫炉底板，以免铁屑落于电阻丝上造成短路损坏。2、入箱式炉的工件应不超过炉底板.大载荷量，装卸工件时应确保电源断开的情况下进行。3、汪意检查热电偶安装位置。热电偶插入炉内后，应保证不与工件相碰。4、根据工件的图纸要求，试验箱式炉，确定合理的工艺范围。按时升温，保证出炉操作，经常检查仪表温度并进行校准，防止误操作。5、为保证炉温，不能随便打开箱式炉炉门，检查炉内情况应从炉门孔中观察。6、冷却剂应放置于就近方便的位置，减少工件出炉后降温。7、出炉时应工位正确，夹持稳固，防止炽热工件伤害人体。8、箱式炉检修后，必须按规定进行烘烤，并检查炉堂及顶部保温粉是否填满，接地是否与炉壳紧固。
真空箱式炉以1800型硅钼棒为加热元件，采用双层壳体结构和厦门宇电50段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，真空电阻炉普遍应用于金属材料在低真空、还原性、保护性气氛下的热处理；也可以用于特殊材料的热处理。二、设备特点1、设计理念本系列陶瓷纤维炉衬热处理炉引进国外先进技术、秉承欧洲工业炉高性能、自动化程度高、操作界面简单易学的特点；2、自动化控制1.控温方式：控温热电偶和智能数显温控仪表、可控硅模块和移相触发系统、电加热元件组成闭环控制系统，自动控制炉内各区的温度，并保持全炉膛内温度均匀一致；2.负载恒流、恒压、恒功控制技术，根据不同负载特性，有效的保护断电引起损坏负载问题；3.可设置多条时间曲线，曲线总段数多达20段；4.具有“给定值+时间值”和“升温段+恒温段”两种程序设置模式可选；5.所有参数可按键设定，数据自动保存不丢失；3、一体化结构电控系统与炉体一体化结构、操作简单，减少占位。 管式炉的使用注意事项：定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好。
PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，达到表面钝化和体钝化的目的。管式炉炉型如何选择：设计负荷在大于30MW的时候，要通过技术进行经济对比。佛山真空管式炉
管式炉的使用注意事项：在300℃左右烘烤2小时后才可以使用，以免造成炉膛开裂。贵州管式炉高校实验室**
管式炉的使用维护及培养温度：1、启动自色整定：本产品能适应绝大多数控制系统，只有控制效果特别不理想时方可启动自整定，按SET键3秒进入仪表内层菜单，选定参数At后配合△或▽键开启自整定，此时At指示灯开始闪烁仪表进入自动整定参数工作状态，仪表控制加热系统在设定点付近波动二次，当At灯灭时自整定结束，新的PID参数被锁存在芯片中。2、设定温度：按SET键可设定温度，按SET键至数码管下排数据闪动,表示仪表进入温度设定状态,按△键设定值增加，按▽键设定值减小，再按一下SET键仪表回到正常工作状态温度设定完毕。3、传感器误差的修正：在确认仪表显示的值不是正确的测量值时可对显示值进行修正。按SET键3秒进入仪表内层菜单，选定参数SC后配合△或▽键可修改此参数。传感器误差的修正的范围为+50到-50，修正完成后再按SET键3秒退出。仪表出厂时修正值为0，使用时要防止把显示正确的仪表修正至不正确。贵州管式炉高校实验室**
