高温箱式气氛炉是用于材料的气氛(氮气)烧结实验。它的炉膛采用莫来石聚轻砖砌筑,炉膛内上下用碳化硅棚板,炉内温度是加热元件在加热过程中经过碳化硅棚板传导(暗火加热),温度更均匀。炉壳密封。为提高密封垫的使用寿命在炉门口设有循环水冷套以降低密封处的温度。进气设炉膛底部,经加热腔预热后分多处进入炉内,排气经炉顶后部排出。保证炉内气氛均匀,减小炉内温差。气路上装有气体流量计,用于正常使用控制气氛流量。高温箱式气氛炉的电气部分采用与炉体一体化结构,整个电气元件安装在炉体底部的一侧,结构紧凑、占用空间小。温控安装在炉体侧面板上,观察直观,调节方便,温控仪具有PID调节功能,可自动追踪设定较佳PID值,可任意设定测量分度密码,同时具备补偿功能,可使炉膛温度与显示值一致,控温方式:采用德国西门子技术,具有软启动、软关断、可控硅移相调压控制,0~98%输出可调节,面板上各种仪表开关等有相应的中文标牌。企业在使用真空管式炉时,需要就其工作原理进行了解,从而合理的发挥出设备的使用效率。北京PECVD管式炉厂家
管式炉的炉衬材料:现在的很多设备制造企业也喜欢使用耐火纤维这样的一种材料来作为管式炉的炉衬,原因自然是因为这种类型的材料具有加工方便,同时拥有很好的密封性的原因,当然也有很多工程师表示这种类型的材料,还有一个非常重要的特点,那就是不会存在任何的连接缝隙。除此之外,还有很多设备会采用浇筑料来作为炉衬,其中较为常用的材料就是水泥,采用这种材料制造出来的,炉衬通常都具有激励性较好,而且该材料的使用寿命也会比较长。如此对于需求企业来讲,在实际选购管式炉这种设备的时候,也需要考虑到去楼层的材料原因很简单,因为不同类型的材料所制造出来的炉衬也会对该设备的性能带来一定的影响,同时也会影响到该设备的实际使用寿命,所以这也是一个非常重要的考量因素。上海马氟炉厂家**在操作真空管式炉的时候,也要严格的按照操作的说明书进行操作。
管式炉供实验室、工矿企业、科研等单位作化学分析、物理测定及热电偶检定等加热用。单管定碳炉以硅碳棒为加热元件,用于分析、测定普通钢或合金钢中含碳及硫量时加热用。本系列管式炉为周期作业式电炉,可供工矿企业、科研等单位、实验室和车间作化学分析、物理测定和热电偶鉴定等加热之用。在辐射室内辐射炉管沿炉墙周围排成一圈,由于燃烧器位于加热炉的底部,火焰竖直向上喷射,火焰是和炉管平行且等距离的,所以在同一水平截面上各炉管的热强度是均匀分布的,但是每根炉管沿炉长的热强度分布是不均匀的。管式炉为此在小型圆筒炉上通常在辐射室顶部悬挂高铬镍合金钢的辐射锥,用它的再辐射作用使炉管的轴向热强度趋于均匀。但是由于辐射锥的材质为高铬镍合金钢,费用较高,一般圆筒炉的热负荷大于0.4×104kw时,就不再采用辐射锥。
管式炉的选购要点:1、技术上,达到国内较高水平。由于管式炉在市场上有很多品种,每一种在制造技术上不同,那么在品质工艺上也是会有着很大的落差。此时,客户在选购的时候,要确保其技术上达到国内较高水准。2、配置上,同一种型号有着齐全的配置,客户可以根据实际的需求来订购即可。所以说,把握好在选购方面的要点和细节,为的就是在配置上达到了客户满意的标准,这样在市场上销售过程中,才能够满足不同客户的实际需求。3、环保上,要具备环保等级高,不会对环境产生污染。由于管式炉在加热过程中,对环保要求上是很高的,须要控制在一定的范围内。因此,在选购的过程中,要达到绿色环保,在用的过程中不会出现质量问题的。管式炉的炉衬材料:现在的很多设备制造企业也喜欢使用耐火纤维这样的一种材料来作为管式炉的炉衬。
PECVD管式炉的具体工艺流程?硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在,促进气体分子的分解、化合、激发和电离,促进反应活性基团的生成,从而降低沉积温度。PECVD在200℃~500℃范围内成膜,远小于其它CVD在700℃~950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中,使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性,达到表面钝化和体钝化的目的。管式炉充入气体注意:确认各阀门都处于关闭状态,接通氢气气路时,对各接头处用肥皂水检漏,确认不漏气。江苏管式炉生产厂家
使用真空管式炉的操作:需要注意的是在热电偶和偶孔之间的缝隙要用石棉绳填塞,防止热量损失。北京PECVD管式炉厂家
真空箱式炉以1800型硅钼棒为加热元件,采用双层壳体结构和厦门宇电50段程序控温系统,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,真空电阻炉普遍应用于金属材料在低真空、还原性、保护性气氛下的热处理;也可以用于特殊材料的热处理。二、设备特点1、设计理念本系列陶瓷纤维炉衬热处理炉引进国外先进技术、秉承欧洲工业炉高性能、自动化程度高、操作界面简单易学的特点;2、自动化控制1.控温方式:控温热电偶和智能数显温控仪表、可控硅模块和移相触发系统、电加热元件组成闭环控制系统,自动控制炉内各区的温度,并保持全炉膛内温度均匀一致;2.负载恒流、恒压、恒功控制技术,根据不同负载特性,有效的保护断电引起损坏负载问题;3.可设置多条时间曲线,曲线总段数多达20段;4.具有“给定值+时间值”和“升温段+恒温段”两种程序设置模式可选;5.所有参数可按键设定,数据自动保存不丢失;3、一体化结构电控系统与炉体一体化结构、操作简单,减少占位。 北京PECVD管式炉厂家